psd光电位置传感器 什么是光电传感器
什么是光电传感器
什么是光电传感器
所谓光电传感器,就是通过感应自身投射光的受光量(遮光量),实现非接触式的检测物体的有·无的传感器。
如下图所示,左边的投光器投射出光线,右边的受光器接收到足够的光量(受光量)时判定为ON(○),否则判定为OFF(×)。
光电传感器的特征·非接触式检测·可长距离检测 ·可检测微小物体
·高速响应速度·大部分物体都可以检测
×容易受到油污&粉尘的影响
检测类型的分类
光电传感器有各种各样的检测类型。
在此,我们仅介绍几种主要的检测类型。
对射型
投光器和受光器分离。主要以【投射的光线是否被遮断?】为检测依据,因此不受检测物体的形状、颜色、倾斜等影响。
对射型传感器
镜面反射型(回归反射型)
配置1个传感器和1个反光镜。同对射型一样,主要以【传感器投射向反光镜的光线是否被遮断?】为检测依据。因为只有1个传感器,所以布线比对射型简便(但还是需要两个安装固定位置)。
镜面反射型传感器
同对射型一样,检测物遮断了投光器和受光器之间的光轴时输出ON(○)/OFF(×)。不易受到周围的反射光、油污、粉尘等的影响,实现稳定检测。应用示例
物体进入检查设备确认确认检查物品是否已进入检测设备内。传感器检测到物品之后,检测设备自动启动检查项目。
漫反射型(扩散反射型)
仅配置1个传感器(内置投光器和受光器)。
投光器投射的光线经过检测物反射回受光器,从而检出物体的有无。
因为只有1个传感器,所以安装固定及布线都比较简便,但容易受检测物体的形状、颜色、倾斜等影响。敬请注意。
漫反射型传感器
与镜面反射型相反,受光器接收到检测物体反射回的光线时输出ON(○)/OFF(×)。安装固定较简便,但反射光会受到检测物体的颜色、距离、倾斜的变化而变化,因此使用时请确认反射光量的稳定性。应用示例
金属部品的加工确认确认金属部品加工孔的有无。
若投射光进入孔中,则无法返回接收器,因此可检测加工孔的有无。
只需要安装固定1个传感器,相关便捷。
BGS型(距离设定型)
传感器采用PSD/C-MOS感光元器件,以【距离】而不是【受光量】作为检测依据。因此,有效避免普通漫反射型传感器容易受检测物体颜色的影响。不过,BGS型的检测距离比普通漫反射型较短。
BGS=Background Suppresion,背景抑制性。
BGS型的检测原理(三角形测量)?
三角形测量,是指通过三角形的原理,测量物体至传感器之间的距离。
如右图所示,已知A/B两点之间的距离,如果角度A/B也知道的话,则A/B两点至所需测量位置(红点●)的距离就可以求得了。
检测方法
将【投光素子】、【受光素子】、【被测物】之间的位置构成一个三角形关系,从而求得被测物的距离。如右图所示。当被测物的距离发生变化(绿色↑)时,受光素子上的受光位置也跟着变化(蓝色←)。即测量受光素子的受光位置至被测物之间的距离。
应用示例
部品的有无检测
检测托盘内部品的有无。通过检测高度差来确认部品的有无,即使部品的颜色发生变化也可稳定检测,无需重新调整传感器。
透明体检测型
属于镜面反射型中的一种。不过,由于光线容易穿透透明体,因此普通的镜面反射型传感器无法检测透明体。而专用于检测透明体的传感器,应差距离(→P20)较小,受光量发生细微的变化也能检测出来。
一般来讲,应差距离较小时容易导致输出的不稳定(ON/OFF反复切换)、容易受环境干扰导致误动作。为了避免该问题,透明体检测型传感器在镜头光学系统和电路设计上做了一些改良。
为什么使用镜面反射型?
使用镜面反射型检测时,光线会往/返经过检测物2回,因此受光量的衰减程度较明显;使用对射型检测时,光线只经过检测物1回,受光量衰减程度比镜面反射型小。假如光线经过检测物1回时受光量的衰减率为3%的话,镜面反射型的受光量衰减6%,而对射型仅衰减3%。
应用示例
PET瓶检测
检测透明瓶的有无,普通光电床干起及接近开光都不能检测透明玻璃及透明瓶,透明体较薄时,接触式传感器也难检测,此时低价格的透明体检测传感器优势比较显著。
限定反射型·广角漫反射型
限定反射型
属于漫反射型的一种。光学系统特别设计,使得传感器只能在指定范围内检测物体。常用于检测指定区域内的工作的有无。与BGS型传感器相比,精度较低,但结构较简单价格便宜。另外,光纤传感器中,由于无法满足BGS型的光学结构,因此常采用限定反射型的方式。
应用示例
检测晶片是否有缺口
检测晶片是否存在缺口,即使狭小空间中存在背景物体,限定反射型传感器也可稳定检测。
广角漫反射型
普通传感器的投光孔径较小(光斑较小),而广角漫反射型传感器扩大了投光孔径。由于孔径角较大,适用于检测透明体、表面存在沟槽/缝隙等小光斑传感器检测不稳定的情况。不过,因为广角漫反射型传感器投射的光线不聚光,所以测试距离表较短。
应用示例
透明薄膜检测
监视透明卷膜物料是否用完。广角漫反射型传感器光斑较大,无需使用反光镜,即使薄膜褶皱或抖动也可稳定检测。
颜色判定型(颜色传感器/色标传感器)
采用RGB三色光源,通过计算R·G·B各种颜色的反射光量来识别出被测颜色。有两种检测模式:颜色模式、色标模式;可根据具体应用选择相应的检测模式。
1.颜色模式
R·G·B三色光源同时投光识别被测颜色。物体表面存在各种各样的颜色时亦能高精度检测出指定的颜色。
连接器的颜色检测:
2.色标模式
分别对被测色标和背景进行示教(2点示教)时,传感器从R·G·B三色光中选择出最佳的光源作为投射光。常用于检测单一颜色背景上的某种色标的有无(包装薄膜色标等)。
胶管的色标检测:
(对射型·镜面反射型·漫反射型·BGS型)特性对比:
类型
对射型
镜面反射型
漫反射型
BGS型
检测距离
远
中
近
更近
设置简便·安装空间
相对麻烦
相对简单
简单
简单
配线工程
相对麻烦
简单
简单
简单
颜色影响
完全不受影响
完全不受影响
受影响
受影响小
表面状态
完全不受影响
完全不受影响
受影响
受影响小
背景影响
完全不受影响
完全不受影响
受影响
受影响小
3分钟了解光电探测器件
光电探测器件是激光测向技术的核心器件,常用的光电探测器主要包括:电流/电压信号传感器和图像传感器两类。电流/电压信号传感器是将光能量转化为电流或电压进行处理,而图像传感器可将光能量进行积分,再转化为电信号进行处理,二者都可以实现对角度的动态实时测量。目前,激光测向技术主要采用 3 种探测器件:CCD(charge coupleddevice)、PSD(position sensitive device)和 QD(quad-rant detector)。其中 CCD 多用在图像传感器测向技术;PSD 多用于激光自准直测向技术;QD 多用于高精度快速定位激光测向技术。
◆◆电荷耦合器件(CCD)
◆◆
CCD 成像技术是从 20 世纪 70 年代发展起来的,目前的技术已发展的相当成熟。CCD 具有以下特点:性能稳定、灵敏度高、噪声低、功耗小、动态范围大、响应速度快,且 CCD 有理想的线性特性,只要能保证它提取出来的目标信息是准确的,就能计算出目标角度。
图1 CCD 成像器件示意图
图1 为CCD 成像器件示意图。基于 CCD 的测向技术一般多用于二维空间对目标的方位角进行动态测量,例如,在被测平面上附上二维衍射型光栅,通过 CCD 的读数来确定衍射图像的变化,对条纹的移动进行分析,可以测得被测平面的角度变化,该方法的准确度可以达到 0.4", 测量范围有1300 弧秒。天津大学与航天部合作研制的 TJDX-93 双坐标光电自准直仪,以 CCD 实现角度测量,分辨率达到 0.1"。
CCD 可获取目标的图像信息,通过图像处理获取目标的几何中心或某一部分图像的角度信息,但其图像的获取是通过电荷的累积积分来完成的,积分时间将会影响对动态目标,特别是高速运动目标的测量精度,同时帧频也不会很高。当不同像素间对信号响应不一致时,对运动目标位置的测量精度影响将很大,并且其驱动电路复杂,制造工艺也较为复杂。所以,CCD 不能作为理想的动态测向探测器。
◆◆位置敏感探测器(PSD)
◆◆
PSD 是一种光电位置敏感器件,它是利用半导体横向光电效应实现定位的。PSD 的基本特点有:
(1)PSD 有完整的光敏面,是一种无盲区的连续性器件,与象限探测器相比,可以连续的测得位移信号;
(2)光斑中心定位对光斑的形状和能量分布无要求,在强背景光干扰条件下,可采用不同的调制技术进行信号检测;
(3)PSD 角度测量系统的结构简单,信噪比较高。
图 2 PSD 探测器件示意图
PSD 通常用在激光自准直系统中,用于测量动态角度的变化。图2 所示是PSD 探测器件示意图。
图3 PSD 测向原理示意图
图3 所示是PSD 用于激光自准直技术的原理示意图。激光束经过反射镜M 的反射,由光学系统聚焦到PSD 的感光面,当反射镜M 转动α 角度时,PSD 光敏面的光点也在产生位置移动。从原点O 到偏差点P 的距离为h,将其进行β 水平方向和γ 垂直方向的分解,可得到角度偏差量为:
其中,f 为自准直系统的焦距。利用PSD 进行测向,可得到测向精度在1 mrad 左右。PSD 的主要缺点在于:
(1)其内部的结电容分布不均匀,制作PSD 的N区材料不均匀,且电极大小、形状不一致;
(2)边缘处线性度比较差;
(3)PSD 获取目标的位置是通过对光斑能量中心的定位,若目标距离PSD 的距离很远,则PSD 不能准确定位;
(4)PSD 探测灵敏度和探测响应度一般较低,且测量频率不高。
因此,PSD 通常用于近距离的激光自准直系统中,在高精度远距离跟踪系统中,PSD 不是最佳选择。
◆◆四象限探测器(QD)
◆◆
QD 是一种光伏型半导体探测器件,能够产生连续电信号,可形成连续的位置偏差量。QD 的光敏面是由四个探测区域组合到一起的光电探测面组成,通常做成圆形,光敏面的四个探测区域从外部的形状到内部的性能参数在理论上是完全一样的,四个区域之间通过十字交叉的死区分隔。图4所示为四象限探测器示意图。
图 4 四象限探测器示意图
与CCD 和PSD 相比,QD 的噪声小,探测灵敏度高,响应速度快,分辨率高,各个象限输出连续信号,处理电路设计灵活,便于高精度的快速测量。目前,基于QD 的激光测向技术主要用于对高速运动目标进行高精度的定位,如激光制导、激光准直、激光对接、激光侦察以及激光主动跟踪等相关领域。
美国空军实验室设计的导引头所采用的就是四象限APD(雪崩光电二极管),其束散角为15 mrad。在空间光通信APT 系统中,欧洲航天署及其合作公司利用QD 对目标进行跟踪定位,系统可达到±200°的搜索范围,跟踪定位精度小于2 mrad。中科院光电所研制的电子动态自准直仪采用四象限探测器作为探测元件,其分辨率可达0.1",测量范围为±300"。国外使用QD 测向技术对空间运动目标进行主动跟踪,已成功的运用在PATS,EOTS-F 等系统中,其外场验证试验获得了较高的精度。
目前,利用QD 进行角度测量还存在一些不足,主要是死区的限制以及测向精度受光斑漂移和大气环境的影响较大,有分析指出,若能合理的选择器件参数,并选择稳定的大气环境,其测向精度能达到2"。
◆◆结论
◆◆
通过对上述三种器件性能的比较,得出以下结论:PSD 虽然性能可靠,处理电路简单,但是位置分辨率不高、响应速度慢、工作线性宽度很窄;CCD 虽然位置分辨率高,但有积分时间的限制,响应速度较慢;相较而言,QD 具有响应时间短、位置分辨率高、灵敏度高等优势,是较为理想的精密测向器件,更适合于高精度动态目标的跟踪测量。
作者:赵英超,宋毅恒
光电信息控制和安全技术重点实验室
参考来源
赵英超, 宋毅恒. 激光测向器件及其应用[J]. 光电技术应用, 2017, 32(4): 38-40
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