压力传感器接线图 压力传感器接线方法和图解：压力传感器工艺流程主要有哪些？

压力传感器接线方法和图解：压力传感器工艺流程主要有哪些？

　　工艺流程

　　双面接触式电容压力传感器由3个硅晶片(其中有两个晶片B是一样的)用硅熔融法进行键合，先把晶片A正反两面腐蚀两个同

　　样大小的沟槽来作为传感器的真空腔，然后在这两个大沟槽上淀积一层二氧化硅作为绝缘层，同时把晶片A作为双面接触式电容压力传感器的公共下电极，接着把两片用浓的固态硼扩散好的晶体B用熔融键合的办法键合在晶片A的正反两面，用离子刻蚀法刻蚀掉晶片B最外层的重掺杂层，紧接着用自停止腐蚀法去掉轻掺杂层，得到最里面的重掺杂层作为传感器的上电极。对于晶片A和B,可以采用圆形、方形、矩形膜，本次设计采用圆形膜。压力传感器 制造工艺流程如下:

　　1、晶片A

　　衬底晶片采用N型硅晶体，晶向为<100>晶向，厚度约为(500±10)um,电阻率约为5 ~10Q-cm.2.1.1腐蚀出大沟槽

　　先在晶片A的两端氧化出2um的氧化层，然后把预先设计好的掩膜(即大沟槽的形状)附在晶片A的正反两面，然后放到SF6溶

　　液里面让它进行腐蚀，就可得到所要的大沟槽(真空腔)的形状。

　　2、淀积—层绝缘层

　　在腐蚀出大沟槽的晶片A两面都氧化一层150nm厚的SiO2.作为绝缘层。此时，晶片A可以与晶片B进行键合。2.2晶片B

　　晶片B主要是为了制作重掺杂的梁。晶片B取P型硅，晶向为<100>晶向，晶片厚度约(400±10)um,电阻率约为2~5Qcm.2.2.1 硼扩散

　　为了减少由于只扩散硼的—边使梁变形而凹凸不平的情况，使晶体的两边都进行硼扩散，大约要在1120C℃下扩散160min.2.2.2 化学机械抛光

　　晶片被腐蚀后表面变得不平，因此要进行化学机械抛光，化学机械抛光的一些参数见表1:表1用于熔融键合的P+型硅化学机械抛光的参数

　　这样晶片B也可以进行键合了。

　　3、键合后的晶片2.3.1 硅熔融键合

　　在键合之前，所有晶片都要进行清洗，把晶体表面上的灰尘微粒洗掉，接着晶片在室温下键合在一起，然后把这对晶片放在

　　1000°℃的纯氮环境下进行退火键合。

　　4、硅蚀刻

　　首先利用离子刻蚀把原先为减少凹凸不平而重掺杂的浓硼扩散层刻蚀掉，这一步也可用机械抛光法来进行。刻蚀掉这一层后，

　　接着要把梁刻蚀出来，可用腐蚀的办法来进行，用10%的KOH来腐蚀，前面的350um在90C的KOH中腐蚀，后面的50um在50℃的KOH中腐蚀，以便得到更好的蚀刻选择性。

　　5、 开—个引线窗口和排气窗口

　　引线窗口主要是在这个窗口中先淀积上一层金属，然后从这一层金属中引出电容的极板引线。要刻蚀出这个窗口可以在晶片上

　　布─层掩膜，然后利用离子刻蚀法刻出这个窗口，同理，排气窗口也可以这样刻蚀。排泄窗口是为了使封装的腔为真空而设计的。

　　6、封装腔

　　排气窗口刻蚀出以后，用LTO封装这个排气窗口，用LTO封装以后，腔里的空气压力几乎为零。那么这个传感器就可以测绝对压

　　力。

　　7、刻蚀出梁和引线窗口

　　在BHF溶液中腐蚀出梁和引线窗口，腐蚀掉链接层的LTO和SiO2.2.3.6金属化处理

　　在引线窗口溅射上300nm的AI/Si/Cu金属层。2.3.7切割和测试

　　完成后的晶体能够被切割和测试。

压力传感器怎么接线，确保正常使用？

接压力传感器是一项非常重要的工作，在许多领域中都得到广泛应用。接口的质量不仅影响着传感器的精度和使用寿命，也直接影响着整个系统的可靠性和稳定性。在这篇文章中，我们将深入探讨如何正确地接压力传感器，以确保测量精度和系统稳定性。

第一部分： 确认压力传感器接口类型

在接压力传感器前，首先需要了解传感器的接口类型，这将有助于您选择正确的接线方式。压力传感器的接口类型有多种，我们需要根据现场条件和使用要求来选择相应的接插类型。常见的接口类型有电缆接口、温度补偿接口和信号输出接口等。如果您不确定传感器的接口类型，请根据传感器的型号或厂家提供的说明书来确认。

第二部分： 连接传感器和测量设备

在接线之前，需要确保测量设备和传感器电源的质量和电压是正确的，这是保证传感器能够可靠工作的前提。埋入式和贴片式传感器通常需要使用专用的工具和技术来进行固定。如果您不确定如何进行接线，请参考传感器的说明书或与厂家联系以获取更多信息和帮助。

当您接线时，请确保同时连接接口上的所有引脚，避免出现接触不良的情况。通常，传感器有三个引脚：电源正极、电源负极和信号引脚。一般情况下，电源正极接在测量设备的正极，电源负极接在负极上，信号引脚连接到相应的测量设备上。

第三部分： 检查接线是否正确

在连接完成之后，需要检查所有的接线是否正确连接。首先，检查传感器的输出信号是否符合预期。如果输出信号不正常，则需要重新检查和排查。其次，需要检查各个接口的固定情况，确认每个接口固定完好，没有松动和变形。最后，通过对接触点进行检查，确保连接良好，没有虚焊、短路和断路等问题。

结论

接压力传感器需要非常小心谨慎。在接线之前，需要了解传感器的接口类型并进行正确的选择。在连接时，需要确保传感器和测量设备的电源和电压都正确。连接完成后，需要对接线进行检查，以确保所有的连接良好、信号正常和接口固定完好。通过这些操作，我们可以确保传感器的工作能够达到最佳状态，提高测量精度和系统的可靠性和稳定性。#科普瑞传感器

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