无线加速度传感器 敏芯股份申请加速度传感器结构与加速度传感器专利，提高测量结果的准确性和产品的可靠性

敏芯股份申请加速度传感器结构与加速度传感器专利，提高测量结果的准确性和产品的可靠性

金融界2024年3月5日消息，据国家知识产权局公告，苏州敏芯微电子技术股份有限公司申请一项名为“加速度传感器结构与加速度传感器“，公开号CN117647662A，申请日期为2024年1月。

专利摘要显示，本发明公开了一种加速度传感器结构与加速度传感器，其中加速度传感器结构包括：活动质量块上设有沿其厚度方向贯穿的容置槽；容置槽内设有锚点和两组惯性单元；针对一惯性单元，惯性单元包括至少一对180°旋转对称的惯性组件；惯性组件包括感测结构、弹性梁以及耦合梁；感测结构通过弹性梁与锚点连接，感测结构关于感测轴方向的一侧设有弹性方向与感测轴方向垂直的耦合梁；耦合梁连接活动质量块和感测结构；感测结构包括至少一个用于响应感测轴方向上的加速度的电容；两组惯性单元的彼此的感测轴方向相互垂直。本发明避免非感测轴方向的干扰模态影响活动质量块使其发生面内的扭转，提高测量结果的准确性和产品的可靠性。

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敏芯股份取得单质量三轴MEMS加速度传感器和电子设备专利，增强产品可靠性，减小了扭摆位移量

金融界2024年1月29日消息，据国家知识产权局公告，苏州敏芯微电子技术股份有限公司取得一项名为“单质量三轴MEMS加速度传感器和电子设备“，授权公告号CN117192155B，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本申请提供一种单质量三轴MEMS加速度传感器和电子设备；该单质量三轴MEMS加速度传感器包括：位于活动层的活动质量结构和边框；活动质量结构包括第一可动梁、第二可动梁及锚点；锚点用于固定第一可动梁和第二可动梁；第一可动梁和所述第二可动梁之间通过连接部连接，连接部的刚度大于所述第一可动梁的刚度，和/或，连接部的刚度大于第二可动梁的刚度；本申请通过连接部将第一可动梁和所述第二可动梁连接，可以减小活动质量结构在向第一方向运动时第二可动梁的变形，同时也可以减小活动质量结构在向第二方向运动时第一可动梁的变形，从而减小了第一可动梁和第二可动梁的交互影响，增强产品可靠性，减小了扭摆位移量。

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