PH3磷化氢气体传感器 磷化氢传感器在半导体制造业的应用

磷化氢传感器在半导体制造业的应用

磷化氢，是一种无机化合物，化学式为PH3，是一种无色、有刺激性，是腐蚀性极强的有毒气体。纯净的磷化氢气体是无色无味的，但在金属磷化物产生磷化氢气体时常带有乙炔味或者大蒜味或者腐鱼味。如果遇到痕量其他磷的氢化物如乙磷化氢，会引起自燃。吸入磷化氢会对心脏、呼吸系统、肾、肠胃、神经系统和肝脏造成影响。

同时，它是一种强还原剂，可与氧气、氮气、卤素及氢气等反应。PH3磷化复在高温下与空气中的氧气反应会爆炸。它具有剧毒，可引起中毒及死亡。PH3磷化复是一种高毒性气体，它的毒性主要表现在对中枢神经系统的损害，长期接触可导致神经系统疾病。

PH3磷化氢是半导体行业中常用的气体之一，可用于制造磷化氢化学气相沉积(CVD)过程中，可以用作半导体材料的掺杂剂，以改变半导体的电性质。此外，磷化氢还可以用于制造太阳能电池、LED 等电子元器件。因此PH3磷化氯气体传感器在半导体制造业中广泛应用。

PH3磷化氢为我们的半导体制造行业带来了很大的帮助，同时，也有它的弊端，PH3磷化氢的TVL(闻值限值)在0.3ppm以下，是一种对人体危害较大的气体，如果泄漏以及操作不当，容易中毒，反应主要表现为头痛、恶心、呕吐、腹痛、昏迷、抽搐等症状，严重时可导致死亡。长期接触PH3磷化氢可引起神经系统疾病。因此，在PH3磷化氢的使用和生产过程中，必须采取有效的安全措施。

实现高精度的PH3磷化复气体浓度检测，及时发现可能存在的泄漏和安全隐患，并采取相应的措施，确保工作环境的安全和人员的健康。因此，PH3磷化氢气体传感器对于保护人员的安全和减少环境污染具有重要意义。ISWEEK工采网技术工程师推荐以下型号检测磷化氢的气体浓度：

英国Alphasense 磷化氢传感器 - PH3-A1

磷化氢传感器- PH3-A1电化学传感器具有灵敏度高，选择性好，可以过滤灰尘和小水滴，低浓度输出线性好，稳定性好，抗H2、CO、CO2、NH3的干扰等优点，量程为0~10ppm,工作环境为-30~50℃，15~90%RH,分辨率为0.03ppm，主要用在化工，粮仓，手持式PH3报警器等。

英国Alphasense磷化氢传感器 - PH3-B1

磷化氢传感器- PH3-B1电化学传感器具有灵敏度高，选择性好，可以过滤灰尘和小水滴，低浓度输出线性好，稳定性好，抗CL2、H2、CO2、NH3的干扰等优点，量程为0~10ppm,工作环境为-30~50℃，15~90%RH,分辨率为0.03ppm，主要用在固定式PH3报警器，化工，粮仓等工业领域。

英国Alphasense磷化氢传感器 - PH3-BE

磷化氢传感器- PH3-BE电化学传感器具有灵敏度高，选择性好，可以过滤灰尘和小水滴，低浓度输出线性好，稳定性好，抗CL2、H2、CO2、NH3的干扰等优点，量程为0~2000ppm,工作环境为-20~50℃，15~90%RH,分辨率为2ppm，主要用在固定式PH3报警器，化工，粮仓等工业领域。

磷化氢气体传感器在粮仓熏蒸时的应用

在防虫方面目前国内普遍采用磷化氢熏蒸的方式进行杀虫，在熏蒸过程中为了确保熏蒸效果需要在熏蒸过程中监测粮仓内部的磷化氢、二氧化碳和氧气浓度，由于磷化氢为剧毒气体在熏蒸过程中严禁人员进入仓内查看，就需要气体检测装置来检测粮仓内的气体情况。

在粮食（包括成品粮、原粮、油料、薯干、种子粮等）的害虫感染达到一定程度时，在密封条件下，在粮堆中投埋一定量的磷化铝、磷化钙、磷化锌、敌敌畏等药品，使上述磷化物其它吸收粮堆空隙与粮食中的水分，产生化学反应，释放磷化氢剧毒气体，以达到杀死粮堆中的各种害虫与虫卵的效果。因为粮食是关系民生的，为了保存粮食不受虫害，粮库要定期熏蒸杀虫。

磷化氢是一种无色气体，极毒，有鱼腥臭气味。磷化氢气体对储粮害虫（除粉螨外）的不同虫期均有较高的药效，它可通过昆虫呼吸系统进入虫体内，作用于细胞线粒体的呼吸链和细胞色素氧化酶而使昆虫致死。主要用于粮仓和烟草的熏蒸，可测熏蒸中和熏蒸后残余浓度。

导致磷化氢中毒的原因主要是以下几点：

1.磷化氢是常用的高效熏蒸杀虫剂，广泛用于粮食、皮毛仓库和船舱的熏蒸杀虫，使用不当、防护不良或意外渗漏等，可致操作工人乃至周围居民发生急性中毒。

2.磷的金属化合物的生产、贮存、运输过程中，若防潮不良，空气湿度过高时，吸收水分或遇酸时，亦可产生磷化氢，导致中毒。

3.在黄磷生产和使用过程中，只要有黄磷燃烧的烟雾就可有磷化氢的存在，这是由于磷的低价氧化物三氧化二磷(P2O3)与热水反应产生磷化氢

预防磷化氢中毒的方法：

1.用磷化铝熏蒸杀虫时，进入现场必须配戴有效防毒面具，严守操作规程。熏杀结束后，彻底通风排毒，用磷化氢检测仪检测，确认无毒后方可进入。

2.生产、包装、贮存、运输磷化铝、电石、硅铁过程中必须保持干燥，严防受潮，加强通风。运输过程中严禁人货同仓。

3.使用的磷化氢检测仪器，监测环境中磷化氢的浓度，用磷化氢检测仪检测环境中磷化氢浓度达标后再进行作业。

因为粮仓熏蒸作业具有很高的危险性，通常由专业人员配备专门检测气体的工具进行操作。在投放磷化铝和熏蒸期间须进仓时，磷化铝熏蒸的时候有毒，而且是剧毒，投放后很快就变成气体，吸入都会中毒，要配戴装有高锰酸钾(使磷氧化为磷酸酐而失去毒性)及活性炭的防毒面具，以防中毒。粮仓要安装排风扇，熏蒸后进行机械通风，以缩短仓内磷化氢浓度降至卫生标准以下的时间。

磷化铝是我国粮食部门推广应用的一种很有效的储粮灭虫剂，广泛用于粮仓的储粮灭虫。当遇水或吸湿后即可潮解，放出毒性剧烈的磷化氢气体。粮库化验员在取样化验及保管员进库测温度、湿度和检查粮情、虫情时会接触磷化氢，有的因缺乏安全卫生知识而引起磷化氢中毒。所以，粮仓熏蒸时必须要安装磷化氢气体检测仪。

磷化氢检测仪有的测熏蒸过程中的浓度，一般选择量程是0-2000ppm，另一种是测熏蒸后的残余浓度，量程一般选择0-20ppm。很多用户选择便携泵吸的，测熏蒸过程的时候通过采样点检测，测残余时则随身携带检测。

磷化氢气体检测仪实时检测粮仓中的浓度，当浓度超过我们设置的报警值时，就会发出声光报警功能，及时提醒作业人员做好防护措施，还可以联动电磁阀、排风扇等设备。 ISweek工采网根据智慧粮仓实际情况，制定了一套专门针对粮仓PH3/O2/CO2三种气体检测的方案，广泛应用于智慧粮仓的气体监控设备上，能精确提供粮仓熏蒸后室内残留的PH3气体浓度、以及人员是否能安全进入的O2\CO2环境浓度。

PH3/O2/CO2三种气体检测，主要是PH3传感器使用磷化氢气体传感器PH3-A1和PH3-B1，氧气传感器使用荧光原理的荧光氧气传感器LOX-02（O2浓度范围0-25%），以及CO2传感器MINIR（CO2浓度范围0-5%）可以提供完美的检测方案。

粮仓内壁这些通风装置都会根据系统指令，自动运行。如果温度过高、湿度过大，或者仓内气体浓度未达到安全范围，系统将自动开启智能通风系统进行调节，有效保障粮食储存的安全。

智慧粮仓内温湿度检测推荐使用温湿度传感器模块HTW-211 ，可以有效监测智慧粮仓内温湿度情况。

“智慧粮仓”以传感器技术、计算机技术、多媒体技术和大规模储存技术为基础，以网络为纽带，运用海量粮库信息对粮库（仓）进行多分辨率、多尺度、多时空和多种类的数字化描述，并利用数字信息系统作为工具支持，完善人们对储粮的管理。

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