硅扩散传感器 扩散硅压力传感器详解

扩散硅压力传感器详解

压力传感器是一种可以用于钢铁、化工等领域对压力进行测量，与压力调节仪配套使用可实现压力自动控制。

扩散硅压力传感器是利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特点晶向，制成应变电阻，构成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学特性，在同一切硅材料上进行各向异性微加工，就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。

扩散硅压力传感器的压力直接作用于传感器的膜片上（不锈钢或陶瓷），使膜片产生与介质压力成正比的微位移，传感器的电阻值发生变化，用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。

1、适合制作小量程的变送器

硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区，制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。

2、输出灵敏度高

硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50～100倍，故相应的传感器的灵敏度就很高，一般量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求，使用比较方便。

3、精度高

由于传感器的感受、敏感转换和检测三部分由同一个元件实现，没有中间转换环节，重复性和迟滞误差较小。由于单晶硅本身刚度很大，变形很小，保证了良好的线性。

4、由于工作单性形变低至微应变数量级，弹性芯片最大位移在亚微米数量级，因而无磨损，无疲劳，无老化，寿命长达1×103压力循环，性能稳定，可靠性高。

5、由于硅的优良化学防腐性能，即使是非隔离型的扩散硅压力传感器，也有相当程度的适应各种介质的能力。

6、由于芯片采用集成工艺，又无传动部件，因此体积小，重量轻。

WPAK63扩散硅压力传感器

测量介质：液体和气体

量程范围：-100kPa～0～10kPa…100MPa

压力类型：表压、绝压、密封压

输入阻抗：恒压：3kΩ～18kΩ/恒流：2kΩ～5kΩ

响应时间：≤1ms（上升到 90%FS）

WPAK63扩散硅压力传感器

■超量程或降量程选用时，幅度控制在±30%FS 以内。

■ 压力方式分表压、绝压、密封压，根据需要合理选用。

■ 确认系统的最大过载，系统的最大过载应小于传感器的过载保护极限，否则会影响产品的使用寿命，甚至损坏产品。

■ 禁止用任何硬物触碰膜片，否则会导致膜片破裂。■ 制造负压芯体的材料、工艺与正压不都相同，不能用表压芯体替代负压芯体。

■ 安装前请仔细核对使用说明书，避免错误的安装导致损坏产品。

■ 错误的使用，会导致危险和人身伤害。

■ 芯体从壳体拔出，禁止拉导线和和管腿。

扩散硅压力传感器

扩散硅压力传感器主要应用于过程控制系统、压力校准仪器、液压系统、生物医药仪器、液压系统及阀门、液位测量、制冷设备和 HVAC 控制等行业，可以说，凡是自动化要求比较高的的行业，都可能会用到扩散硅压力传感器。

精巧！扩散硅压力传感器解析

说到扩散硅压力传感器，就不得不提到一个叫斯密斯的英国人，就是他发现了扩散硅材料的压阻效应，为了压力传感器的生产奠定了理论基础。

扩散硅压力传感器是利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特点晶向，制成应变电阻，构成惠斯通电桥。利用硅材料的弹性力学特性，在同一切硅材料上进行各向异性微加工，就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。

扩散硅压力传感器的压力直接作用于传感器的膜片上（不锈钢或陶瓷），使膜片产生与介质压力成正比的微位移，传感器的电阻值发生变化，用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。

扩散硅压力传感器广泛应用于供/排水、热力、石油、化工、冶金等工业过程现场测量和控制。

要选出一款合适的传感器需要根据压力类型、量程大小、输出范围、精度指标、尺寸大小等要求，以及温度和出线形式、特殊使用工况和重量等等多种要求。

炜盛科技WPAK63系列是采用高精度进口扩散硅压力敏感芯片和成熟的生产工艺封装而成的压力芯体，是制造压力传感器及压力变送器的核心部件，作为一种高性能的压力敏感元件，可以方便地进行放大处理，装配成标准信号输出的变送器。

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