国家智能传感器创新中心 润欣科技：和国家智能传感器中心组建联合实验室，推动新技术应用和量产

润欣科技：和国家智能传感器中心组建联合实验室，推动新技术应用和量产

上海润欣科技股份有限公司（以下简称“润欣科技”或“公司”）12月2日晚间发布公告称，公司于11月29日接受了多家机构投资者的特定对象调研和现场参观。在调研中，润欣科技表示，国家智能传感器中心专注于智能传感器的关键共性技术开发和特色工艺的形成。将和产业链上下游企业如润欣科技等组建联合实验室，开展声学、压力传感(换能)芯片、PZT技术的研究，推动技术在TWS耳机、手机、智能家居市场的应用和量产。

润欣科技公告截图

公司董事会秘书庞军向投资者介绍了国家智能传感器创新中心。庞军称，国家智能传感器中心专注于智能传感器的关键共性技术开发和特色工艺的形成。和产业链上下游企业如润欣科技等组建联合实验室，开展声学、压力传感(换能)芯片、PZT技术的研究，推动技术在TWS耳机、手机、智能家居市场的应用和量产。 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems又称微机电系统)是指可批量制作的，集微型机械结构、微型传感器、微型执行器、通信等于一体的微型器件或系统。它体积小、重量轻、功耗低，易于集成实现智能化，在传统机械传感器领域，把半导体硅的优势发挥出来，通过硅技术不断的迭代，如果逻辑和连接芯片相当于人类的大脑和神经元，MEMS传感器相当于人的感知器官。（注：2021年全球MEMS传感器市场约为300亿美元。中国大陆市场为450亿元人民币，复合增长率13%。）

创新中心2021年建了12寸先进传感器特色工艺中试线。Mems的特点是不需要几纳米的先进制程工艺，90纳米对Mems就很先进了，材料和工艺比制程重要。传感器的创新在硅基的材料和工艺，硅的集成度很高，配合各类IC，半导体可以去迭代。

重点介绍联合实验室研究的MEMS压电技术，压电采用的材料主要是压电陶瓷，比如大家熟悉的B超(超声波)，还有倒车雷达都采用了压电陶瓷材料。材料本身是比较成熟的。传统的传感器制造和加工工艺，以手工和模具制造，无法与IC集成。压电陶瓷是一个MEMS传感器的材料，传统的压电材料长在硅上，工艺技术上是一个比较大的突破。压电材料跟硅结合才能有比较大的优势。目前压电材料直接长在晶圆上，并且是一个单晶的材料，长在晶圆上的温度不能太高，传统600-700度肯定不行，有IC就不能超过450度。所以需要相对低温生长然后单晶。

压电Mems既可以感应又可以执行，声学这边用压电做电容式的麦克风，要做信噪比很高的压电式工艺，另外还可以做执行器，由电流变化产生位移，用驱动空气发声，类似换能器。

颠覆性的科技：声学从发明到现在，一直用马达驱动薄膜震动，目前就是MEMS来取代传统马达，再用空气驱动薄膜来发声，除了材料，工艺，声学设计以外，还有需要有算法。目前采用的数字扬声器，跟光学传感器一样，也通过pixcel一样，采用算法合成。在封闭空间(如耳机)内尺寸小，噪声低，在开放空间能够通过声音合成，定向的发声。

长三角感存算一体化中心介绍：3d堆叠最早出现在在MEMS传感器，但是行业叫MEMS和CMOS集成，不叫chiplet。本来mems和ASIC芯片是分开的，芯片级集成后可以异构堆叠成晶粒。只要有应用，成本算的过来，就值得去芯片的集成，目前国内半导体行业热炒的Chiplet概念，2.5d和3d堆叠，伪需求比较多。

值得兼容传感器，存储，运算的场景：如高算力，存储的服务器。或者空间很小，比如生物可穿戴设备，其他很多的应用场景不一定要用到2.5d 3d的堆叠，可能用pcb sip封装就够了。在目前大多数的应用场景下，pcb的sip成本还是相对算力堆叠的成本较低一点。

最早是台积电做Chiplet，Intel也在自己做算力堆叠，因为更先进制程的开发难度变大。

国家智能传感器创新中心MEMS研发总监向投资者介绍，压电材料是通用的，洗眼镜的超声波材料，震动，也是pzt膜，pzt膜因为含铅。传统制造都是丝网印刷，体积大和不均匀是良率的痛点，mems是半导体技术+传感器物理特性，沿用fab的工艺和设备，晶圆化，芯片化，设备化，成本能降下来。这样做到多科学的融合，简单的计算，各种图形的传感器也可以做。感应灯上面也是pzt的材料，更多的执行器的方向，自动驾驶的微镜，光通讯领域，打印机里面用的都是压电的技术，超声包括医疗b超，VR AR单点的测距用的也是压电式，指纹的压电式的方案。

压电的技术路线，目前是接近成功的pzt薄膜材料，创新中心拥有目前国内唯一pzt压电薄膜mems工艺平台，年产量1万片Wafer，8寸线，整个温度跟cmos的温度兼容。跟cmos单片集成的优势，可以做多层薄膜的堆叠，高性能薄膜的制备。创新中心MEMS扬声器的结构和材料的优势：均匀性，高沉积速率，高压电特性，低表面粗糙度，低介电损失，低成本。和

XMEMS(台积电工艺)，uSound(ST工艺)，试产线更加靠近市场，可以快速迭代。

精细化的辅助测试手段：4d的全息数字显微镜，直观的图像显示。

以下为投资者关系部分问答内容：

Q1：Mems扬声器的在市场放量的时间预测?

答： 产品这边靠润欣的合作，润欣有TWS耳机芯片和传统声学扬声器的渠道。不知道大家有没有了解过硅麦，硅麦能够进手机，不是因为性价比，而是因为传统麦克(咪头)无法上SMT，就是咪头的生产温度不能超过200度，不能过回流焊，几乎是手机中唯一需要手工焊接的器件。所以硅麦出现后，用了短短3年，就替换掉了传统扬声器的几十亿美金的市场。一开始性能成本并不理想，但是一旦用了硅，快速迭代，剩下的就是时间问题。MEMS Speaker也一样，一旦开始替代，放量的速度会很快。

目前创新中心和润欣的联合实验室在规划，找智能穿戴的方案公司和音响公司客户落地产品。在TWS耳机、助听器等产品上，MEMS扬声器有着绝对的优势，入耳设备要求体积非常小，给电池和马达的物理空间不多，空间越小，MEMS扬声器的优势就越大。

Q2：在AR眼镜上，VR眼镜上，Mems扬声器的优势是不是很明显?

答： 是的，空间小就有帮助，uSound在2021年推出的配置蓝牙扬声器的眼镜，就是采用MEMS扬声器替代了骨传导。并且在AR眼镜的应用上，MEMS扬声器的指向性能够产生很好的场景感。

Q3：为什么Mems扬声器可以定向?

答： 因为是数字重构的pixcel音响，有多个矩阵，如果就两个mems扬声器，那用wire bonding两条线就好了，如果是1024个，那就需要矩阵和数字重构，因为数字重构和阵列，所以可以聚焦，才可以定向的发声。

Q4：Mems扬声器想替代目前哪些传统的扬声器?

答： 传统和mems扬声器都用膜，也都需要空气的震动发声。不同点是硅的体积和功耗小于传统的扬声器，并且传统扬声器有体积小就容易声音失真的问题，这点在mems扬声器上得到了很好的解决。

Q5：从体积空间看，目前mems扬声器比较好的应用是不是tws耳机市场?

答： 是的，目前的方案是动圈保留，动铁被mems扬声器替代，好处是模具不用改，手机这边如果能够进入的话，能有50亿美元的市场。手机的麦克风硅麦已经是成熟了，这个是换能器。不做硅麦的原因是太成熟了，并且过于便宜了。所以这边直接做mems speaker。

Q6：成本上讲mems扬声器的初期放量阶段，良率和成本上怎么看?

答： 目前刚开始，性价比比传统的会贵些，主要是解决客户的痛点，价格还在估算，主要看良率，需要跟ASIC一起配合，目标是2美元一个，传统动铁目前的价格是1美元一个。

Q7：目前Mems传感器的方向?

答： 光学，cis；声学，mems speaker；力学；生物；目前主要考虑这四大方向。

润欣科技2日收报6.83元，总市值34.47亿元

审读：谭录岗

光明科学城智能传感器产业创新发展论坛举行 推动智能传感器产业创新资源加速集聚

读创/深圳商报首席记者 王海荣

7月27日下午，2023光明科学城智能传感器产业创新发展论坛在招商局智慧城举行，来自北京、上海、深圳、苏州等地智能传感器及产业链上下游相关企业负责人80余人参会，了解光明区相关产业政策，并就技术创新、行业应用、跨区域融合等话题进行深入交流。

本次论坛由光明区投资促进服务中心指导，招商局智慧城主办，光明科学城科技创新联合会承办，深圳智能传感器产业联盟协办，得到了中国传感器与物联网产业联盟的支持。论坛旨在构建智能传感器产业领域资源共享、产研合作、大小融通的协同创新体系，合力打造光明科学城智能传感器产业高质量发展的良好创新生态，支持创新型企业和行业龙头企业落户光明区，推动智能传感器产业创新资源加速集聚落户光明区。

作为主办方代表的招商蛇口产业园区事业部深圳公司副总经理、招商局智慧城总经理付小龙在致辞中表示，招商局智慧城着力打造智能传感器集聚区，已经培育了诺安智能、纽迪瑞科技、美思先端等优质企业，并不断吸纳有潜力的智能传感器初创企业、团队。本次论坛的举办，有助于携手各方创新资源，打造具有广泛影响力的智能传感器产业生态圈，共同助力光明科学城构建智能传感器产业发展集聚高地。

光明区投资促进服务中心副主任黄一宁出席论坛并现场介绍了光明科学城的最新发展情况。他表示，光明区实现了从光明农场到光明科学城的蝶变，未来将面向国际科技竞争主战场，加快建设世界一流科学城和深圳北部中心。

招商局智慧城招商总监黄丁可现场介绍了招商局智慧城的相关情况。他表示，招商局智慧城历经十余年深耕，已经成为光明区最具产业集聚效应和品牌效应的园区。园区集成优势资源 ，构建智慧产业生态圈，致力于打造活跃的产业生态，提供覆盖企业全生命周期的产业服务，助力企业加速成长。

在论坛主题演讲环节，来自行业协会、产业界、投资界的专家代表进行了不同主题的主旨演讲。

中国传感器与物联网产业联盟副秘书长朱佳骐以《智能传感器产业生态建设》为主题，介绍了信息技术的发展、半导体产业兴起、MEMS应用、全球传感器产业链及融资、国家智能传感器创新中心建设等方面的内容。

首凯高科技（江苏）有限公司董事长倪立与现场嘉宾探讨在“碳达峰、碳中和”的背景下，近零排放智能型氨气传感器的场景应用及发展前景。

海尔智家超前研发（深圳）传感器负责人刘超英围绕智家场景的传感应用，介绍了智家场景的传感应用趋势、智家场景的典型传感应用、新技术带来的新探索等三个方面的发展情况。

纽迪瑞高级副总经理万波围绕智能传感产品差异化创新与发展这一主题，以纽迪瑞产品差异化创新为切入点，对传感器行业的市场现状与创新发展趋势进行了分享交流。

华业天成资本投资副总裁撖涛从资本角度，畅谈了智能传感器产业的投资现状，并分享了智能传感器产业的投资实践、方向和经验。

当天的论坛还举行了圆桌对话，该环节以“智能传感器产业高质量发展路径”为主题，海尔智家超前研发（深圳）传感器负责人刘超英、深圳大深传感科技有限公司总经理孟庆余、苏州聚元微电子股份有限公司总经理韩兴成、华业天成资本投资副总裁撖涛等企业专家代表，围绕当前市场环境对企业的影响、企业应对挑战的经验、未来关注的机遇点、产业政策的建议、投资重点等方面，进行了交流。

据了解，作为数字时代的感知层，智能传感器是集成传感芯片、通信芯片、微处理器、软件算法等于一体的系统级产品，紧密衔接互联网、大数据、人工智能与实体经济，已成为支撑万物互联、万事智联的重要基础产业。伴随着工业互联网、大数据、物联网、人工智能、VR/AR等新一代信息技术的快速发展，市场应用正呈现爆发式增长态势，产业发展处于重要战略机遇期。

去年6月发布的《深圳市培育发展智能传感器产业集群行动计划（2022-2025年）》，提出深圳聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、CMOS-MEMS集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设MEMS中试线、MEMS传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子、智慧城市等领域应用场景。其中，光明区肩负了布局建设兼具量产能力的研发中试线，打造智能传感器中试熟化与产业化示范区的重任。

为进一步推动智能传感器产业集群加速形成，强化政策服务、政务服务，光明区出台了《培育发展智能传感器产业集群实施方案（2022—2025）》 《深圳市光明区关于支持智能传感器产业集群高质量发展的若干措施》等文件，从推动重大项目落地、提升产业创新能级、支持企业做大做强、加快重点行业示范应用等方面加快推动落实。

记者从论坛上获悉，光明科学城抢抓智能传感器产业大发展机遇，目前已明确落户市级重大MEMS中试线、50亿元智能传感器专项基金、全球最大智能传感器数字平台等重要产业资源，并建设大湾区智能传感器新型产业社区，正加速成为引领中国传感器产业发展的新高地。

审读：谭录岗

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