多轴加速传感器 三轴加速度传感器

三轴加速度传感器

我们知道加速度传感器是能够去测量加速力的电子设备。大多数加速度传感器是根据压电效应的原理来工作完成的。谈到的压电效应就是对于不存在对称中心的异极晶体加在晶体上的外力除了使晶体发生形变以外，还将改变晶体的极化状态，在晶体内部建立电场，这种由于机械力作用使介质发生极化的现象，加速度传感器就是利用了其内部的由于加速度造成的晶体变形这个特性，晶体变形会产生电压，只要计算出产生电压和所施加的加速度之间的关系，就可以将加速度转化成电压输出。

  在加速度传感器中有一种是三轴加速度传感器，同样的他是基于加速度的基本原来去实现工作的，加速度是个空间矢量，一方面，要准确了解物体的运动状态，必须测得其三个坐标轴上的分量；另一方面，在预先不知道物体运动方向的场合下，只有应用三轴加速度传感器来检测加速度信号。三轴加速度传感器具有体积小和重量轻特点，可以测量空间加速度，能够全面准确反映物体的运动性质，在航空航天、机器人、汽车和医学等领域得到广泛的应用。

  目前的三轴加速度传感器大多采用压阻式、压电式和电容式工作原理，产生的加速度正比于电阻、电压和电容的变化，通过相应的放大和滤波电路进行采集。这个和普通的加速度传感器是基于同样的一个原理，所以在一定的技术上三个单轴就可以变成一个三轴。对于多数的传感器应用来看，两轴的加速度传感器已经能满足多数应用。但是有些方面的应用还是集中在三轴加速度传感器中例如在数采设备，贵重资产监测，碰撞监测，测量建筑物振动,风机,风力涡轮机和其他敏感的大型结构振动。

  三轴加速度传感器的好处就是在预先不知道物体运动方向的场合下，只有应用三维加速度传感器来检测加速度信号。三维加速度传感器具有体积小和重量。

芯动联科申请一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法专利，制造成本低

金融界2024年6月25日消息，天眼查知识产权信息显示，安徽芯动联科微系统股份有限公司申请一项名为“一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法”，公开号CN202410263974.2，申请日期为2024年3月。

专利摘要显示，本发明公开一种三轴MEMS加速度传感器，由X、Y、Z三个独立的感测单元构成，X、Y轴感测单元均由外延多晶硅单独制作；Z轴感测单元由外延多晶硅和下层多晶硅共同制作，下层多晶硅通过Z轴电极锚点固定在衬底上，作为Z轴固定电极，外延多晶硅作为Z轴可动电极，由于MEMS结构只通过支撑锚点与衬底连接，衬底应力对器件的影响较小。其Z轴感测单元的制造方法是先在第一氧化层上形成下层多晶硅图形，再淀积第二氧化层并形成通孔图形，接着通过外延工艺形成外延多晶硅层，再刻蚀外延多晶硅层并加长时间刻蚀通孔多晶硅和下层多晶硅，最后HF腐蚀除去部分第二氧化层和第一氧化层，释放MEMS结构，由于不需要昂贵的SOI圆片，制造成本低。

本文源自金融界

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