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阻流传感器 一文了解压阻式传感器的原理,特点及其应用类型

发布时间:2024-10-06 22:10:10

一文了解压阻式传感器的原理、特点及其应用类型

压阻式传感器 piezoresistance type transducer 是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。

压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。其基片可直接作为测量传感元件,扩散电阻在基片内接成电桥形式。当基片受到外力作用而产生形变时,各电阻值将发生变化,电桥就会产生相应的不平衡输出。 用作压阻式传感器的基片(或称膜片)材料主要为硅片和锗片,硅片为敏感 材料而制成的硅压阻传感器越来越受到人们的重视,尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用最为普遍。

压阻式传感器的应用

压阻式传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。在航天和航空工业中压力是一个关键参数,对静态和动态压力,局部压力和整个压力场的测量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面的较理想的传感器。例如,用于测量直升飞机机翼的气流压力分布,测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在飞机喷气发动机中心压力的测量中,使用专门设计的硅压力传感器,其工作温度达 500℃以上。在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达 0.05%的配套硅压力传感器。在尺寸缩小的风洞模型试验中,压阻式传感器能密集安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。

单个传感器直径仅 2.36 毫米,固有频率高达 300 千赫,非线性和滞后均为全量程的±0.22%。在生物医学方面,压阻式传感器也是理想的检测工具。已制成扩散硅膜薄到 10 微米,外径仅 0.5 毫米的注射针型压阻式压力传感器和能测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。图 3 是一种用于测量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量。此外,在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式传感器。随着微电子技术和计算机的进一步发展,压阻式传感器的应用还将迅速发展。

压阻式传感器的典型特点是什么

①压阻式传感器的灵敏系数比金属应变式压力传感器的灵敏度系数要大 50-100 倍。有的时候压阻式传感器的输出不需要放大器就可直接进行测量。

②由于它采用集成电路工艺加工,因而结构尺寸小,重量轻。

③压力分辨率高,它可以检测出像血压那么小的微压。

④频率响应好,它可以测量几十千赫的脉动压力。

⑤由于传感器的力敏元件及检测元件制在同一块硅片上,所以它工作可靠,综合精度高,且使用寿命长。

⑥由于采用半导体材料硅制作,传感器对温度比较敏感,如不采用温度补偿,其温度误差较大。

压阻式传感器为什么会产生温度误差?如何补偿?

压阻式传感器有两种类型:一类是利用半导体材料的体电阻制成粘贴式的应变片,形成半导体应变式传感器;另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成扩散电阻,构成敏感元件,称为扩散型压阻式传感器。

压阻式传感器受温度影响较大,会产生零位漂移和灵敏度漂移,因而会产生温度误差。

压阻式传感器中,扩散电阻的温度系数较大,电阻值随温度变化而变化,故引起传感器的零位漂移。

传感器灵敏度的温漂是由于压阻系数随温度变化而引起的。当温度升高时,压阻系数变小,传感器灵敏度要降低,反之,则灵敏度升高。

零位温漂一般可用串、并联电阻的方法进行补偿。

灵敏度温漂通过在电桥的电源回路中串联二极管来补偿。

另外,压阻式传感器也可将四个扩散电阻接成全桥,为了减小温度的影响,可采用恒流源供电。

可见,电桥的输出与电阻变化成正比,即与被测量成正比,也与电源电流成正比,输出电压与恒流源电流的大小和精度有关,但与温度无关,所以恒流源有很好的温度补偿作用。

一个简单的传感器电压低故障,8天都没修好

共轨导读

对于单个传感器的电路故障,一般是比较好维修的,无非就是线路或者传感器的故障。今天带来的故障案例却不同以往,明明是一个简单的传感器电压低的故障,却查了将近8天,前后来了一共5拨人。

那么我们就来看下这个故障到底有什么神奇之处,我相信这个点90%的人都不知道!

故障案例

师傅在维修这辆车之前,已经有4拨人动过这辆车了,但是都没有修好。据司机描述,挂挡行驶时限速1800转,但是停车就可以踩到3500转,一旦挂挡起步就又限速1800。

故障排查

第一步:读取故障码

不管别人是怎么修的,师傅按照正常步骤走。首先插上解码仪,读取故障码,发现故障码为P0097:进气温度传感器信号电压低于下限—历史故障。询问司机,之前也是出现的一样的故障码。

传感器信号电压正常情况下会有一个工作范围,当信号电压超过最大值或者低于最小值且持续一段时间(200ms左右),就会报出信号电压过高或过低的故障码。

对于进气温度传感器的电压值的范围是:0.2V-4.95V,若是超过该范围就会报出电压过低或过高的故障。

该故障是电压低,一般可能的故障点就是:

1.进气温度传感器的信号线对地短路;

2.进气温度传感器的供电线对地短路;

3.温度传感器损坏,导通;

4.电脑板或数据问题。

第二步:检查传感器线路

这可就让人疑惑了,这么个简单的电路故障,居然四拨人都没有修好?学艺不精吧!首先还是按照正常步骤查一遍,拔开插头测量开路电压,均正常:5V,5V,5.6V,0V。压力信号线正常对地电压应该是5.5V左右,均为正常。

第三步:传感器电阻合理值检查

传感器坏了?刚想去找一下配件,换一下试试,司机却说这个前面的人已经试过了,换了新的传感器也没有用,甚至电脑板都换过测试过一遍。电脑板也换过了?不放心,还是先测一下传感器的温度电阻看看。

但这是社区的,单拿出来的话,不如和他们合作,阻测下来是0.866,由于现在是正午,天气比较热,大气温度也有个36℃。由于测量的时候是着车状态,经过增压中冷后的温度还是要比进气温度高的(40℃+),所以0.866也是属于正常范围。

第四步:跟车测试

师傅这时候注意到一点,读出来的是历史故障,是不是有可能是线路虚接呢?先暂时飞线看看行不行。正准备飞线,发现已有前人做过类似的操作了。不管,自己再试一遍。接完线后,清码,试车看看。

先原地试车,发现没有任何故障码复现,也没有出现限速的问题。

于是决定出去跟车试试,当车辆还没有开出去200m,发现又限速了。一看故障码,故障码又复现了,并且是当前故障。

这时候熄火,重新原地试车还是没问题,只要一走就又出问题。这么神奇的吗?

第五步:喷油器检查

静下心来分析一下,传感器没有问题,电压也没有问题,线也飞过了,甚至之前也换过电脑板了。但是这个就是简单的电路故障啊,能换的都换了,到底问题出在哪呢?

难道不是这个故障导致的限速?

于是师傅,开始去查其他地方了,车速传感器、离合器开关、刹车开关等等,统统都拔掉检查了一遍,还是没有查到故障点。

于是决定把喷嘴拆出来上实验台上来测一下,看看是不是喷油器的问题。结果放到试验台上测也没有问题,装回去又发现问题了——车打不着了。

好了,老故障没解决,新故障又出现了,这个车真的是一波三折啊。

第六步:更换喷油器

修了一天,只能第二天起来接着查了。打不着车?尝试着喷启动液试试,发现喷启动液是可以着车的,但是过了一会就自己熄火了。解码仪读,也没有什么故障。那么可能就是之前拆装喷嘴的问题了,查喷油器加电良好。是不是喷油器卡死了?因为德尔福的喷嘴特别容易卡死。更换四支喷油器之后,车辆再次打着。

小贴士:

在拆装喷油器时,应首先使用气枪吹干净,防止进入灰尘卡死喷油器。

第七步:跟车读取数据流

尽管能着车了,但故障还是依旧。没办法继续跟车,看看有没有什么异常的数据流。调出了一大堆的数据流,挨个看,确实发现有不对劲的地方了。数据流如下:

由于从高速到限速时间过短,其他数据流来不及看清变化。但是可以明显看到进气温度这一项的数据流不对。怎么怠速的时候温度就到65℃了?正常应该也就40℃左右啊。

限速之后25℃还是可以理解的,因为在出现进气温度电路相关故障时,电脑板会给出替代值。一般起动时,替代值为-20℃;起动后为25℃。

第八步:拆缸盖检查气门

正常情况下,进气温度不可能达到这么高的,高温气体反窜了?那问题就大了,能想到的可能就是气门损坏了。没办法,只能拆开缸盖检查气门了。最终发现气门破损了,导致严重漏气,高温气体被压缩至进气管,导致进气温度传感器检测温度过高。

更换气门后,故障码不再出现,故障解决。

知识拓展

看完这么多,相信大家对这个故障还是有疑惑的,接下来小轨就给大家梳理一下。

为什么怠速时温度不合理(65℃),却不报温度过高的故障呢?

车辆在标定的时候,根据厂家不同对进气温度上限值有着不同的标定,一般温度为60~70℃,所以在进气温度达到65℃时,并未达到该德尔福系统的标定值,所以不会报出进气温度过高相关的故障。所以在正常试车的时候,没有任何故障的报出。

车辆行驶时为什么会报出电路故障呢?

在解决这个问题的时候,我们需要先了解一下进气温度传感器的基本工作原理。

首先,进气温度、环境温度等传感器都是采用的负热敏电阻(排温是正热敏)。那么什么是负热敏呢?

负热敏电阻传感器其电阻值随着进气温度的变化而变化。进气温度变低时,热敏电阻的电阻值增大;温度变高时,热敏电阻的电阻值减小(如下图),能够改变发动机控制模块(ECU)提供的5V信号电路上的电压。

我们下面接着了解一下ECU和传感器是如何配合进行工作的呢,对于进气温度传感器采用的是“恒定电压+热敏电阻器”向ECU提供0~5V模拟信号的方式。

在ECU内部有一个定值电阻R与传感器上的热敏电阻串联。串联电阻分压,加在两个电阻之上的电压为固定值5V,此时我们测量ECU内部电阻R为1200Ω左右。

我们通过特性图发现,当温度高到一定程度的时候,电阻就会很小(假设极限情况电阻为0),同时电脑板检测到的电压值就会很小,当电压值小于电路故障设定值时,就会报出电路相关的故障。下面以博世EDC17CV44系统为例说明:

从图中我们可以看出,当电压小于200mV,大于4950mV时,就会报出电压低和电压高的故障。但是当进气温度为200℃时,电脑板检测的电压仅为136mV,肯定就会报出电压低于下限的故障。

维修点评

所以该故障其实是高温气体反串之后,造成进气温度升高到一定值,从而导致报出电路方面的故障。此电路故障,按照我们正常的排查逻辑是根本排查不出来的,因为本身就不是电路故障,所以才会误导了一大批人。

但师傅在排查时,还是有不当的操作的:

1.当电路方面都排查结束后,首先第一步就是应该去读取数据流,而不是盲目的去排查喷油器等方面的故障。若是一开始就去读取数据流,肯定能直接找到故障点。

2.不要盲目拆装喷油器,很多人在维修车辆的时候喜欢去直接动喷油器,校一下油嘴。其实没有明确现象指向喷油器的时候,尽量不要去动喷油器,该案例师傅就犯了这个错误,并且拆装时一定要吹扫干净,防止进灰卡滞。

今日互动

师傅们还见过哪些报的是电路故障,实际上维修却不是电路故障的案例呢?欢迎在下方留言,大家一起学习!

本文卡家号作者:共轨之家

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