湿度传感器 电容式 高华科技申请MEMS电容式温湿度集成传感器及制备方法专利，实现精准的温湿度检测

高华科技申请MEMS电容式温湿度集成传感器及制备方法专利，实现精准的温湿度检测

金融界2024年3月16日消息，据国家知识产权局公告，南京高华科技股份有限公司申请一项名为“一种MEMS电容式温湿度集成传感器及制备方法“，公开号CN117705313A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本公开的实施例提供一种MEMS电容式温湿度集成传感器及制备方法，传感器包括：体硅层，设置有贯穿其厚度的下空腔；依次层叠设置于体硅层的埋氧层、器件层、第一介质层和第一电极层；温度敏感层，设置于下空腔内，且位于第一介质层和第一电极层之间；其中，上述五者对应下空腔的部分共同形成悬臂梁；结构层和金属填充层，结构层设置于第一介质层的上表面，结构层设有贯穿起厚度的上空腔，上空腔与下空腔位置对应且连通；金属填充层分别连接引线层和第一电极层；第二电极层，设置于悬臂梁上的第一电极层上方的上空腔；设置于结构层上的引线层、第二介质层和第三电极层；引线层和第二介质层位于第三电极层和结构层之间；湿度敏感层，填充于填充空间内。

本文源自金融界

简要对比直读式和电容型湿度传感器电路图

【导读】我们说对于湿度相关传感器的应用电路当中，湿敏元件一般有两大类。其中一个是水分子亲和力型湿敏元件，另一个与它直接相反的就是非水分子亲和力型湿敏元件。我们说这种湿敏元件通过大偶极矩的水分子，很好的附着渗透固体表面这个特点，那就是前者。向我们所见到的电阻式或者是电容式湿敏元件，还有毛发湿度计等都属于这一类。非水分子亲和力型湿敏元件与此却不同，它通过一种相互接触产生的物理效应来对湿度进行测量。热敏电阻式还有红外线吸收式湿度传感器都是属于这一类。本文主要通过对比直读式和电容型湿度传感器电路图的方式，来具体的分析这两者的区别，给予使用人员一些参考。

直读式湿度传感器电路图的应用电路

直读式湿度传感器应用电路正如下图所示，氯化锤（吸湿盐类物质）湿敏电阻器RH是新型水分子亲和力型湿敏元件，真空镀膜工艺，梳状金电极被渡在玻璃片上形成一层。在电极上会被涂一层感湿膜，这是利用氯化锤和聚氯乙烯醇等进行配制的。聚氯乙烯醇的特点就是粘合性强，而且又是一种多孔性物质。这种物质与氯化锤进行结合就能很方便的将水分子通过感湿膜来进行吸附以及释放等，以此促进湿敏电阻器电阻值迅速变化。

湿度传感器电路图

湿敏电阻表面涂敷保护膜的原因就是提高抗污染能力。一种配方的湿敏电阻测试范围狭窄，当我们要进行大范围湿度测量时，就需要多个湿敏电阻器组合起来使用。这样的情况下测量范围就能扩展到20%～80%RH。从湿度传感器电路图中看出一般的由VT1、VT2和T1等组成测湿电桥的电源，其振荡频率为250～1000Hz。电桥的输出信号经变压器T2、C3耦合到VT3，经VT3放大后的信号由VD1～VD4桥式整流后输入微安表，指示出由于相对湿度的变化而引起电流的改变。然后通过标定来把湿度刻划相应的微安表表盘上，这样就形成一个既简单又实用的直读式湿度计了。

湿度传感器电路图

电容型湿度传感器电路图的应用电路

我们从湿度传感器电路图来分析，电容型湿度传感器的特点就是具有高分子材料作为基材的湿敏元件来做敏感元件。其特点就是有机高分子材料具有一种吸湿性还有膨润性。该元件也是水分子亲和力型湿敏元件，我们从湿度传感器电路图中看到它吸湿后，介电常数就会有很大变化。这样的特点就是电容式湿敏元件。

湿度传感器电路图

醋酸纤维素、尼龙和硝酸纤维素等都是属于我们经常看到和接触到的高分子材料。湿敏元件薄膜约5000埃，可以说非常薄。这样一来元件很容易快速吸湿与脱湿，滞后误差减小且响应速度快。

湿度传感器电路图

上面就是我们介绍的两种湿度传感器电路图的对比分析，从电路图中我们知道了它们各自的应用。

相关问答

湿度传感器是根据某种物质从其周围空气中吸收水分后引起的物理或化学性质的变化,从而获得该物质的吸水量和周围空气的湿度。湿度传感器分为电阻式和电容式两...

型号:ZRN-WS-A1经济型温湿度变送器特点与用途:ZRN-WS-A1经济型温湿度传感器、变送器为壁挂式,适用于(0~50)℃空间环境下的温湿度监测。湿度...

德图便携式数显温湿度计采用高精度的传感器和先进的数字处理技术,能够快速准确地测量环境温湿度。其原理基于热电效应和湿敏电容原理。具体来说,温度传感器通...

[回答]电容传感器湿度传感器是湿度传感器中常见的一种仪器设备,它是以高分子材料湿度湿敏电力电容器为基础感湿元器件,运用单片机设计对测量結果开展剖析...

[最佳回答]目前最高版本的PROTEUS中的可变电容是没有仿真模型,所以不能仿真,警告说的就是这个。你只好用一个固定电容(当然要找个有仿真模型的!)来仿真了,要改...

含水量传感器就是湿度传感器,它的工作原理运用的是物理知识,制成由一定的机械原理。2、湿敏元件是最简单的湿度传感器。湿敏元件主要有电阻式、电容式两大类...

温湿度传感器作为一款应用领域非常广泛的传感器,消费电子和家电领域:空调、通风管道、楼宇自控、冰箱等,工业领域:发动机和机动车辆、通讯机房、气...

测湿度常用的方法是通过测量空气中的相对湿度来实现。而利用电压进行湿度测量的方法则是通过电容式传感器测量空气中的相对湿度。这种传感器通过测量空气中水...

[回答]我公司是专门研发,高精度温湿度传感器,湿度误差大于2%温度误差大于0.5.我司的无线防腐温湿度传感器是国内第一家研发的厂家,空缺国内空白!!页面我...

当然可以。电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型、介质变化型三类。极距变化型一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变...