集成传感器将 复旦大学材料科学系梅永丰课题组研发柔性薄膜组装集成芯片传感器

复旦大学材料科学系梅永丰课题组研发柔性薄膜组装集成芯片传感器

硅芯片是当代信息技术的核心，当前正向“深度摩尔”（More Moore）和“超越摩尔”（More than Moore）两个方向发展。物联网（IoT）应用是“超越摩尔”技术路线中相当重要的一环，需要数量巨大的集成电路芯片来分析处理来自外部传感器件的海量信号。目前，大多数传感信号采集器件和信号处理单元均为分离设计，将在整体上产生更大功耗并占据更大的空间。由此，复旦大学材料科学系教授梅永丰课题组提出了将信号检测和分析功能集成于同一个芯片器件中的全新概念。作为演示，研究团队将单晶硅薄膜柔性光电晶体管与智能薄膜材料相结合和组装，构造了对不同环境变量进行检测和分析的柔性硅芯片传感器及其系统。这一思路不仅具有优异的可扩展性，还可与当前集成电路先进制造工艺相兼容。

5月2日，相关研究结果以《面向智能数字灰尘的硅纳米薄膜光电晶体管多功能集成传感器研究》（“Silicon Nanomembrane Phototransistor Flipped with Multifunctional Sensors towards Smart Digital Dust”）为题发表在《科学进展》（Science Advances）上。研究团队从器件的传感机理入手，利用柔性薄膜组装集成芯片传感器，实现了多种环境参数探测功能的集成。

图1：(A) 器件主要功能层示意图；(B) 贴附于曲面上的柔性传感器件阵列；(C) 智能传感器件功能区的光学显微照片；(D)用于湿度传感的集成系统构造图；(E) 氢气通入前后参比器件与检测器件的电流变化，红色为参比电流，蓝色为检测电流。

智能材料在环境刺激中可以发生折射率、颜色、晶体结构等方面的光学性质变化，但一般需要光谱设备或比色卡才能进行比对。而翻转的硅薄膜光电晶体管由于没有栅极金属阻挡功能区域的光信号吸收，可以更容易获得高灵敏的传感特性。利用这一点，研究团队将多种智能薄膜材料贴合在器件功能区，智能材料内部物理性质变化引起了微小光学性能改变，从而表现在输出的光电流上，因此可以在同一个芯片上实现对多种不同信号的同时检测。

图1A展示了传感器件典型的功能层结构，顶层的智能薄膜材料对环境刺激发生响应，进而改变下方硅单晶薄膜光电晶体管的输出信号。具有2微米厚的热氧化二氧化硅层则作为光电晶体管的封装，对下方器件进行保护。硅薄膜光电晶体管完全由晶圆级先进集成电路工艺方法制备而成，结合了传统硅基光电子器件的高性能和硅纳米薄膜超薄厚度下的优良柔性。图1B是贴附于半径仅为2毫米直径玻璃管上的柔性器件阵列，表现出良好的弯曲性能。图1C是单个器件功能区域的特写，在蓝色虚框部分集成不同智能材料即可实现对不同环境信号的检测。图1D是具有完备传感与数据处理功能的柔性系统合成图，包括传感与参比器件、逻辑与存储单元、信号放大器和电源。研究团队利用该系统实现了对环境中湿度的实时、快速检测，演示的信号为依次减小的三个湿度脉冲。整个过程中直接对环境变化做出响应的信号，即参比器件与传感器件输出电流随时间的变化如图1E中所示。当环境发生变化（如图所示通入氢气），传感器件的输出电流大幅增加，而参比电流保持平稳，再利用差分电路处理，即可给出所检测的环境参数的值。

研究团队开发了将智能材料与光电传感结合的新颖传感机制，并将传感模块与后续信号处理等模块集成在一起，展示了其在气体浓度、湿度、温度等多种环境参数检测方面的能力，已经初步具备了未来的“智能数字灰尘”的雏形。该策略也可以应用于其他的数字传感系统，在后摩尔时代中将具有巨大的应用潜力。

论文主要由李恭谨博士，博士研究生马喆和尤淳瑜合作完成，并获得韩国延世大学Taeyoon Lee教授和中科院微系统所狄增峰研究员的合作支持。该工作得到国家自然科学基金委、上海市科委、复旦大学和专用集成电路与系统国家重点实验室等大力支持。

文章信息：

GJ Li#, Z Ma#, CY You#, GS Huang, EM Song, RB Pan, H Zhu, JQ Xin, BR Xu, T Lee, ZH An, ZF Di, YF Mei*, Silicon nanomembrane phototransistor flipped with multifunctional sensors towards smart digital dust, Science Advances, 2020, 6: eaaz6511.

文章链接： https://doi.org/10.1126/sciadv.aaz6511

责任编辑：卢晓璐

编辑：黄嘉欣

索尼IMX500：全球首款集成AI智能的图像传感器

自从 iPhone 8 和 iPhone X 发布以来，苹果已经使用 AI 智能工具并通过神经引擎来帮助 iPhone 进行图像处理，该神经引擎已成为 A 系列芯片的一部分。但是未来的 iPhone 可能会采用集成 AI 智能的图像传感器。

据 The Verge 报道，索尼（提供当前 iPhone 使用的图像传感器）发布了全球首款集成了 AI 智能的图像传感器。新型 IMX500 传感器兼具处理能力和内存功能，无需额外的硬件即可执行机器学习驱动的计算机视觉任务。索尼表示，这款传感器将带来更快，更便宜，更安全的 AI 相机。

许多应用依赖将图像和视频发送到云端进行分析。这可能是一个缓慢而又不安全的过程，使数据暴露给黑客。在其他情况下，制造商必须在设备上安装专门的处理内核，才能满足额外的计算需求，例如苹果，谷歌和华为的新型高端手机。

但索尼表示，与这两种方法相比，其新型图像传感器提供了更为简化的解决方案。苹果是否会采用这些类型的传感器尚不清楚。该公司在其自身的图像处理算法中投入了大量工作，但未来的 iPhone 可能会集成能够完成一些 AI 工作的传感器，然后移交给 A 系列芯片进行进一步处理，从而提高性能和效率。

相关问答

"DS"在集成传感器模块中不是一个固定的代表符号,它可能代表不同的含义或厂商定义。为了确定"DS"在特定的集成传感器模块中代表什么,需要查阅相关的产品文档、.....

传感器属于集成电路的细分领域,但是区别甚大,传感器的柔性化定制需求较大,并且研发周期较长,材料以及工艺较为复杂,大规模生产能力较弱。在未来,通过设计...

价格一般在200左右的,有的传感器会贵点,有的会便宜点,正常一般都在200左右。别克GL8发动机的传感器多少钱,这个要看发动机的什么传感器,传感器都是不贵,一...

工作电流即芯片的功耗,这个是芯片本身决定的。要增加工作电流,就需要增加供电电压,但这种线性霍尔传感器一般都是在5V应用的,没必要增加电压。如果电压有波动...

第一种情况,按电源后,法瑞集成灶的抽油烟机电机时转时不转。遇到这类情况一般都是琴键电源动触片变形所造成的。解决问题方法:首先我们用清洗剂清洗触片...

集成温度传感器将温敏晶体管与相应的辅助电路集成在同一块芯片上,能直接给出正比于绝对温度的理想线性输出,一般用于-55℃~±150℃之间的温度测量。温敏晶体...

电流型集成电路温度传感器的特点:输出线性、精度高、体积小、成本低。比半导体热敏电阻线性好,但工作范围比热电阻、热电偶要小。电流型集成电路温度传感器的...

一元或二元光传感器阵列构成的光学系统,能检测和显示视域内的物体形状。CCD和MOS摄像仪能得到清晰图像,而它的一个光传感器可跟网膜相比(约10微米)。一元光传...

根据我的了解,ABS泵的集成惯性传感器通常是固定在泵的内部,设计为不可拆卸的一部分。这是为了确保传感器的稳定性和准确性,以及防止误操作或损坏。因此,一般...

您好,LM35是一种集成温度传感器,常见的有以下几个类型:1.LM35DZ:这是最常见的LM35型号,它可以测量-55°C至150°C的温度范围。它的输出电压与温度成正比,...