什么是负压传感器？负压传感器工作原理

压差传感器是压力传感器的一种，压差传感器可以测量正压、差压、负压，但它们在检测管道连接的方法不同。而负压传感器也是压力传感器的一种，它测量的是待测压力比预定压力值小的情况下的压力值。

负压传感器在工业实践中最为常用的一种压力传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道送风、锅炉负压等众多行业。

当负压侧同大气，其正压侧所测到的压力为表压力；

当负压侧被密闭并抽成真空时，其正压侧测到的是绝对压力；

当正压侧、负压侧分别连接被测体时，其测到的是该被测体被取样点之间的差压；

当正压侧同大气，其负压侧所测到的是负压，也可以说是真空度。

负压传感器工作原理

组成电子产品的晶体是各向异性的，非晶体是各向同性的。某些晶体介质，当沿着一定方向受到机械力作用发生变形时，就产生了极化效应；当机械力撤掉之后，又会重新回到不带电的状态，也就是受到压力的时候，某些晶体可能产生出电的效应，这就是所谓的极化效应。科学家就是根据这个效应研制出了压力传感器。

我们通常使用的压力传感器主要是利用压电效应制造而成的，这样的传感器也称为压电传感器。

负压传感器也是属于压电传感器，负压传感器工作原理是介质的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。当然除了压电传感器之外，还有利用压阻效应制造出来的压阻传感器，利用应变效应的应变式传感器等，这些不同的压力传感器利用不同的效应和不同的材料，在不同的场合能够发挥它们独特的用途。

什么是负压传感器？

我们以膜片式传感器来说明，可以参考上图，能够测量压力的传感器可统称叫压力传感器。

一般说来，我们所称的压力传感器，就是不能测量压力差，而只能测量一个压力的压力大小的传感器。

压力传感器，一端通测量点，一端通大气或者密封真空压力，它只能测量某一压力相对于大气，或者相对于真空的压力，而不能测量两个不同压力的压力差。

压差传感器相当于开放了压力传感器的通大气端（密封端），使它可以测量两个不同压力的压力差。如果把压差传感器的一端通大气，那么就可以把它作为压力传感器来使用，测量压力。

负压传感器是压力传感器的一种，就是一端通测量点，一端通大气的压力（压差）传感器，只是负压传感器所测量的压力比大气压小，对膜片的压力不是‘压’而是‘吸’。如下图：

　负压传感器其实就是压力达不到一定压力的时候传感器就开始起作用并输出数据的产品。经常接触负压压力传感器的人会发现一般负压传感器测负压的最大量程是-100kpa 或者说是-0.1MPA。

热导传感器用于前级泵抽真空时真空度的测量

真空泵是一种利用机械、物理、化学、物理和化学等方法对容器抽真空，以获得并保持真空的装置的气体输送器械。它将低于大气压的环境中的气体输送到大气中，或在同一环境中以大气压输送气体。真空泵的作用是从真空室内抽出气体分子，使设备内的压力低于整机大气压，使真空室内的气体压力降低，达到所要求的真空度。

随着真空应用的发展，真空泵的种类繁多，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万或几百万升不等。极限压力（极限真空）范围从粗真空到10-12Pa以上的极高真空。为了保证真空泵能达到较高的真空度，必须保证真空泵转子之间的间隙。因此，在使用真空泵时，必须配备前级泵。

前级真空泵是指排气至大气压力的真空泵。用前级泵将系统中的压力抽到一定范围后再启动真空泵，以免真空泵超负荷运行。它们还需要支持辅助泵或实现其运行的初始条件。后备泵可选用水（液）环真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、往复式真空泵等直接排气的真空泵。

由于真空应用部门所涉及的工作压力范围很广，任何类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围。只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求采用不同的型式。真空泵。为了使用的方便和各种真空工艺的需要，有时将各种真空泵按其性能要求进行组合，以单元式应用。真空泵抽的真空度测量一般使用传感器来监测，如工采网代理的以下两款真空度检测的传感器：

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 - MTCS2601，遵循没有化学反应的物理皮拉尼原理，可以使用在串扰气体环境中，，与一个简单恒定的温度电路兼容。

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 微型皮拉尼真空计 压力计 - MTCS2300系列，采用镍铂电阻MEMS技术， 将一个大微机械低应力氮化硅膜、两个加热用薄膜电阻以及体硅上的两个补偿用参考电阻，集成在微型封装中。

荷兰Xensor热导式气体传感器- XEN-TCG3880：是用硅技术制造的热导式传感器。传感器芯片包含了2.5*3 33mm的硅晶片, 0.3mm的厚度,有一层氮化硅的薄膜，可用于10mPa~10KPa之间的真空度测量。

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