电容式湿度传感器 高华科技申请MEMS电容式温湿度集成传感器及制备方法专利，实现精准的温湿度检测

高华科技申请MEMS电容式温湿度集成传感器及制备方法专利，实现精准的温湿度检测

金融界2024年3月16日消息，据国家知识产权局公告，南京高华科技股份有限公司申请一项名为“一种MEMS电容式温湿度集成传感器及制备方法“，公开号CN117705313A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本公开的实施例提供一种MEMS电容式温湿度集成传感器及制备方法，传感器包括：体硅层，设置有贯穿其厚度的下空腔；依次层叠设置于体硅层的埋氧层、器件层、第一介质层和第一电极层；温度敏感层，设置于下空腔内，且位于第一介质层和第一电极层之间；其中，上述五者对应下空腔的部分共同形成悬臂梁；结构层和金属填充层，结构层设置于第一介质层的上表面，结构层设有贯穿起厚度的上空腔，上空腔与下空腔位置对应且连通；金属填充层分别连接引线层和第一电极层；第二电极层，设置于悬臂梁上的第一电极层上方的上空腔；设置于结构层上的引线层、第二介质层和第三电极层；引线层和第二介质层位于第三电极层和结构层之间；湿度敏感层，填充于填充空间内。

本文源自金融界

盘点6种传感器工作原理，直观易懂

1. 温度传感器 ：

基于热敏元件的温度传感器工作原理主要通过测量物体或环境的温度变化来获得温度信息。常见的热敏元件包括热电阻和热敏电阻，当温度发生变化时，热敏元件的电阻值也相应变化，通过测量电阻值的变化可以推算出温度。

2. 湿度传感器 ：

湿度传感器通常采用电容式原理工作。电容式湿度传感器由两个电极组成，介质是吸湿材料。当空气中的水分含量发生变化时，吸湿材料的湿度也会相应变化，进而改变电容值。通过测量电容值的变化可以计算出湿度值。

3. 压力传感器：

压力传感器一般采用压力敏感元件，如薄膜传感器或应变片等。当受力作用于这些元件时，其形状或尺寸会发生微小变化，通过测量这些变化，可以获得压力信息。薄膜传感器如薄膜电阻应变片，其电阻值会因受到应力而发生变化，通过测量电阻值的变化可以推算出压力。

4. 光照传感器：

光照传感器可以基于光敏二极管或光电二极管的光电效应来工作。当光照射到光敏元件上时，光敏元件的电阻或电流会有相应变化，通过测量这种变化，可以获得光照强度信息。

5. 加速度传感器 ：

加速度传感器常常采用微机械系统（MEMS）技术，利用微小的机械结构基于质量加速度原理工作。当发生加速度或震动时，传感器中的微小质量会发生位移，通过测量这种位移或反馈信号，可以计算出加速度或相关运动信息。

6. 磁力传感器：

磁力传感器基于霍尔效应或磁阻效应工作。常见的磁力传感器包括霍尔传感器和磁阻传感器。霍尔传感器通过测量磁场对霍尔元件引起的霍尔电压变化，来获得磁场强度信息。磁阻传感器则通过测量磁场对磁敏电阻引起的电阻变化，来获得磁场强度信息。

这仅仅是一些常见传感器的工作原理，实际上还有很多其他类型的传感器，每个传感器的工作原理都各有特点。

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