三轴传感器 芯动联科申请一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法专利，制造成本低

芯动联科申请一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法专利，制造成本低

金融界2024年6月25日消息，天眼查知识产权信息显示，安徽芯动联科微系统股份有限公司申请一项名为“一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法”，公开号CN202410263974.2，申请日期为2024年3月。

专利摘要显示，本发明公开一种三轴MEMS加速度传感器，由X、Y、Z三个独立的感测单元构成，X、Y轴感测单元均由外延多晶硅单独制作；Z轴感测单元由外延多晶硅和下层多晶硅共同制作，下层多晶硅通过Z轴电极锚点固定在衬底上，作为Z轴固定电极，外延多晶硅作为Z轴可动电极，由于MEMS结构只通过支撑锚点与衬底连接，衬底应力对器件的影响较小。其Z轴感测单元的制造方法是先在第一氧化层上形成下层多晶硅图形，再淀积第二氧化层并形成通孔图形，接着通过外延工艺形成外延多晶硅层，再刻蚀外延多晶硅层并加长时间刻蚀通孔多晶硅和下层多晶硅，最后HF腐蚀除去部分第二氧化层和第一氧化层，释放MEMS结构，由于不需要昂贵的SOI圆片，制造成本低。

本文源自金融界

362三轴加速度传感器——ADXL-Link

ADXL362三轴加速度传感器。

ADXL362三轴加速度传感器，该传感器支持12C接口/SPI接口，传感器工作电压为3-5V。该传感器通常提供12位输出分辨率，在精度要求低时也可提供8位数据输出以实现高效传输，测量范围为±2G、±4G及8G。

连接如图所示，使用STM32F103RCT6为主控板，使用SPI接口与传感器通信，配置传感器，读取X、Y、Z轴的加速度并通过串口打印在电脑上。

按图连接后，主控板通过J-Link连接电脑，电脑打开编写好的程序，设置J-Link程序烧录方式，将程序编译无误后烧录程序。随后打开串口助手，选择对应的串口号，波特率为9600，并选择以文本模式接收，接收到的数据为X、Y、Z三轴的加速度，单位为g，当对应轴垂直向下时，得到的值约等于1G。

相关问答

目前的三轴加速度传感器大多采用压阻式、压电式和电容式工作原理,产生的加速度正比于电阻、电压和电容的变化,通过相应的放大和滤波电路进行采集。这个和普通...

现在的三轴加速度传感器大多选用压阻式、压电式和电容式工作原理,产生的加速度正比于电阻、电压和电容的改变,经过相应的放大和滤波电路进行收集。这个和普通...

三轴振动传感器正确的名称应该是三轴加速度计,加速度传感器大致分为三种工作模式:压电式、电容式和热感应。列如压电式***为出名的品牌就是美***的PCB公司所生...

三轴加速度传感器具有体积小和重量轻特点,可以测量空间加速度,能够全面准确反映物体的运动性质,在航空航天、机器人、汽车和医学等领域得到广泛的应用。三轴...

[回答]三轴传感器是什么传感器的数学模型三轴传感器是指三轴陀螺仪,是分别感应Roll(左右倾斜)、Pitch(前后倾斜)、Yaw(左右摇摆)的全方位动态信息的一种装...

1.加速度计加速度计是运动监测设备普遍具备的基本传感器,通常被用来记录行进步数。通过测量方向和加速度力量,加速度计能够判断设备处于水平或是垂直位置,...

[最佳回答]电荷,需要电荷放大器

[最佳回答]三轴加速器就是感应xyz(立体空间三个方向,前后左右上下)轴向上的加速,比如你突然把psp2往前推,psp2就知道你是在向前加速了,从而实现类似赛车加速的...

在加速度传感器中有一种是三轴加速度传感器,同样的它是基于加速度的基本原理去实现工作的,加速度是个空间矢量,一方面,要准确了解物体的运动状态,必须测得其...

[回答]能源生产量仅次于美国和俄罗斯,居世界第位;介绍了轴磁阻传感器MMC3120MQ的技术特点,并利用此传感器、轴加速度传感器ADXL335和微控制器MSP430F2618...