小流量传感器 MEMS热式气体流量传感器及其应用选型

发布时间：2024-11-23 10:11:04

MEMS热式气体流量传感器及其应用选型

热式气体流量传感器简介

热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器，利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。

流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成，热偶堆对称分布在加热电阻的上、下游，加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。

加热电阻对热偶堆的热结进行加热，热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压。当流体静止时，加热电阻两侧对称位置的温度是相同的；当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜，加热电阻两侧对称位置的温度不再相同，温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。

由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可以直接测出流体质量流量。

热式气体流量传感器特点及应用

热式气体流量传感器利用比较简单的构造来准确地测量气体的质量流量，具有结构简单、压损小、量程范围宽等优点，在工业过程控制、医疗设备、便携式仪器、环境监测设备等领域有着广泛的应用。

热式气体流量传感器选型

热式气体流量传感器是一种广泛应用于气体流量测量领域的设备，具有精度高、稳定性好、响应速度快等优点。在选型时，需要根据实际应用场景、气体性质等方面进行综合考虑。

不同的应用场景对气体流量传感器的需求不同。例如，在工业生产过程中，需要对气体流量进行精确控制，以确保生产过程的稳定性和产品质量；而在环保监测领域，需要测量各种气体污染物排放量，以评估环境污染程度。因此，在选型时，需要明确实际应用场景，以便选择合适的传感器。其次，我们需要考虑气体性质。不同的气体具有不同的物理性质和化学性质，对传感器的测量精度和稳定性都会产生影响。例如，有些气体具有腐蚀性，会对传感器造成损害；有些气体密度较小，容易在管道中产生涡流和紊流，影响测量精度。因此，在选型时需要充分了解气体性质，以便选择适合的气体流量传感器。

炜盛科技流量传感器是基于先进的MEMS硅工艺制成的热式质量流量传感器，具有功耗低、体积小、无需稳压补偿、抗冲击、稳定可靠等特点，为医疗、仪器、自动化、燃气计量等领域的气体流量检测提供传感器解决方案。

MEMS热式气体流量传感器FR系列

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流量传感器

流量传感器流量器士要用于测最管道或明渠中液体或气体的流量，常见的流量传感器有涡轮式、电磁式、超声波式、转子式等。最简单的流量传感器为流量开关，流量开关的作用是当流量大于某一设定值时，触点开关发生动作。涡轮式流量传感器是利用管道中的液体对涡轮的冲击作用，流量越大转速越快，通过测量涡轮的转速及已知的管道直径来计算流量，家中常见的水表基本上都是涡轮式的。涡街式流量传感器是用流体流过测量棒时在测量棒的后方后方形成旋涡，流量大则形成的旋涡就多，通过测量旋涡的多少及已知的管道直径即可测出流量。电磁式流量传感器是利用液体流过带有感应线圈的管道时，因液体流速不同而使电磁参数发生不同的变化，从而测出液体的流量。超声波式流量传感器由发射探头和接收探头组成，管道内液体的流动对管道内超声波的声速产生影响，通过测量超声波接收探头测出的声速变化来测量液体流速，同时根据已知的管道直径从而得出管道中液体的流量值。转子式流量传感器类似于在玻璃管中放人浮子(转子)，流量大时浮子就升高，转子式流量传感器一般用于直接观测。流量传感器的主要参数是测量范围、流体最低流速、输出信号类型、防护等级、防爆要求等，对于工程技术人员尤其要注意最低流速的要求，否则在小流量时测量出的流量结果可能出现较大误差。能输出标准信号0~10mA、4~20mA、0~5V、1～5V的流量传感器称流量变送器。流量传感器的外形如图2-10所示。常见型号:LWQ、LU、LDG等。生产厂家:天津天仪集团仪表有限公司、上海光华仪表有限公司、美国康创公司等。