3轴加速度传感器 芯动联科申请一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法专利，制造成本低
芯动联科申请一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法专利，制造成本低
金融界2024年6月25日消息，天眼查知识产权信息显示，安徽芯动联科微系统股份有限公司申请一项名为“一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法”，公开号CN202410263974.2，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本发明公开一种三轴MEMS加速度传感器，由X、Y、Z三个独立的感测单元构成，X、Y轴感测单元均由外延多晶硅单独制作；Z轴感测单元由外延多晶硅和下层多晶硅共同制作，下层多晶硅通过Z轴电极锚点固定在衬底上，作为Z轴固定电极，外延多晶硅作为Z轴可动电极，由于MEMS结构只通过支撑锚点与衬底连接，衬底应力对器件的影响较小。其Z轴感测单元的制造方法是先在第一氧化层上形成下层多晶硅图形，再淀积第二氧化层并形成通孔图形，接着通过外延工艺形成外延多晶硅层，再刻蚀外延多晶硅层并加长时间刻蚀通孔多晶硅和下层多晶硅，最后HF腐蚀除去部分第二氧化层和第一氧化层，释放MEMS结构，由于不需要昂贵的SOI圆片，制造成本低。
本文源自金融界
362三轴加速度传感器——ADXL-Link
ADXL362三轴加速度传感器。
ADXL362三轴加速度传感器，该传感器支持12C接口/SPI接口，传感器工作电压为3-5V。该传感器通常提供12位输出分辨率，在精度要求低时也可提供8位数据输出以实现高效传输，测量范围为±2G、±4G及8G。
连接如图所示，使用STM32F103RCT6为主控板，使用SPI接口与传感器通信，配置传感器，读取X、Y、Z轴的加速度并通过串口打印在电脑上。
按图连接后，主控板通过J-Link连接电脑，电脑打开编写好的程序，设置J-Link程序烧录方式，将程序编译无误后烧录程序。随后打开串口助手，选择对应的串口号，波特率为9600，并选择以文本模式接收，接收到的数据为X、Y、Z三轴的加速度，单位为g，当对应轴垂直向下时，得到的值约等于1G。
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