磷化氢传感器在半导体制造业的应用

磷化氢，是一种无机化合物，化学式为PH3，是一种无色、有刺激性，是腐蚀性极强的有毒气体。纯净的磷化氢气体是无色无味的，但在金属磷化物产生磷化氢气体时常带有乙炔味或者大蒜味或者腐鱼味。如果遇到痕量其他磷的氢化物如乙磷化氢，会引起自燃。吸入磷化氢会对心脏、呼吸系统、肾、肠胃、神经系统和肝脏造成影响。

同时，它是一种强还原剂，可与氧气、氮气、卤素及氢气等反应。PH3磷化复在高温下与空气中的氧气反应会爆炸。它具有剧毒，可引起中毒及死亡。PH3磷化复是一种高毒性气体，它的毒性主要表现在对中枢神经系统的损害，长期接触可导致神经系统疾病。

PH3磷化氢是半导体行业中常用的气体之一，可用于制造磷化氢化学气相沉积(CVD)过程中，可以用作半导体材料的掺杂剂，以改变半导体的电性质。此外，磷化氢还可以用于制造太阳能电池、LED 等电子元器件。因此PH3磷化氯气体传感器在半导体制造业中广泛应用。

PH3磷化氢为我们的半导体制造行业带来了很大的帮助，同时，也有它的弊端，PH3磷化氢的TVL(闻值限值)在0.3ppm以下，是一种对人体危害较大的气体，如果泄漏以及操作不当，容易中毒，反应主要表现为头痛、恶心、呕吐、腹痛、昏迷、抽搐等症状，严重时可导致死亡。长期接触PH3磷化氢可引起神经系统疾病。因此，在PH3磷化氢的使用和生产过程中，必须采取有效的安全措施。

实现高精度的PH3磷化复气体浓度检测，及时发现可能存在的泄漏和安全隐患，并采取相应的措施，确保工作环境的安全和人员的健康。因此，PH3磷化氢气体传感器对于保护人员的安全和减少环境污染具有重要意义。ISWEEK工采网技术工程师推荐以下型号检测磷化氢的气体浓度：

英国Alphasense 磷化氢传感器 - PH3-A1

磷化氢传感器- PH3-A1电化学传感器具有灵敏度高，选择性好，可以过滤灰尘和小水滴，低浓度输出线性好，稳定性好，抗H2、CO、CO2、NH3的干扰等优点，量程为0~10ppm,工作环境为-30~50℃，15~90%RH,分辨率为0.03ppm，主要用在化工，粮仓，手持式PH3报警器等。

英国Alphasense磷化氢传感器 - PH3-B1

磷化氢传感器- PH3-B1电化学传感器具有灵敏度高，选择性好，可以过滤灰尘和小水滴，低浓度输出线性好，稳定性好，抗CL2、H2、CO2、NH3的干扰等优点，量程为0~10ppm,工作环境为-30~50℃，15~90%RH,分辨率为0.03ppm，主要用在固定式PH3报警器，化工，粮仓等工业领域。

英国Alphasense磷化氢传感器 - PH3-BE

磷化氢传感器- PH3-BE电化学传感器具有灵敏度高，选择性好，可以过滤灰尘和小水滴，低浓度输出线性好，稳定性好，抗CL2、H2、CO2、NH3的干扰等优点，量程为0~2000ppm,工作环境为-20~50℃，15~90%RH,分辨率为2ppm，主要用在固定式PH3报警器，化工，粮仓等工业领域。

磷化氢变送器

1.产品介绍

1.1产品概述

我司设计的磷化氢变送器，采用进口一线大品牌电化学磷化氢传感器，具有反应迅速灵敏、抗干扰能力强的特点，经过我司独有的补偿算法、多段标准气体标定，亦具有长寿命、高精度、高重复性和高稳定性的特点。适用于地下停车场、车库、车间、密闭生活场所等需要检测磷化氢浓度的场合。设备采用宽压10~30V直流供电，模拟量信号输出，4~20mA、0~5V、0~10V可选，外壳防护等级高，可以适应现场环境恶劣的检测场合。

1.2功能特点

■量程0-20ppm，其他量程亦可定做。■测量精度高，可达±3%FS以内,重复性可达2%以内。■多种模拟量信号输出可选：4~20mA、0~5V、0~10V。■可选配高品质OLED显示屏，现场可直接查看数值，夜晚亦可清晰显示。■现场供电采用10~30V直流宽压供电，可适应现场多种直流电源。■产品采用壁挂式防水壳，安装方便，防护等级高可应用于恶劣的现场环境。

1.3主要技术指标

供电电源

10~30V DC

平均功耗

0.18W

输出信号

4~20mA、0~5V、0~10V

PH3分辨率

0.1ppm

PH3精度

±3%FS

零点漂移

±0.5ppm

工作温度

-20~50℃

工作湿度

15~90%RH 无冷凝

稳定性

≤2%信号值/月

响应时间

≤30S

预热时间

≥5分钟

重复性

≤2%

压力范围

90~110Kpa

1.4产品选型

S-

公司代号

SCPI

PH3变送传感器

I20-

4~20mA电流输出

V05-

0~5V电压输出

V10-

0~10V电压输出

2

壁挂王字壳

OLED

王字壳带OLED屏幕

-20P

量程为20ppm

2.设备安装说明

2.1设备安装前检查

设备清单：■磷化氢变送器设备1台■自攻螺丝（2个）、膨胀塞（2个）■合格证、保修卡、接线说明等

3.计算方法

3.1电流型输出信号转换计算

例如量程0~20ppm，4~20mA输出，当输出信号为12mA时，计算当前PH3浓度值。此PH3量程的跨度为20ppm，用16mA电流信号来表达，20ppm/16mA=1.25ppm/mA，即电流1mA代表PH3浓度变化1.25ppm，测量值12mA-4mA=8mA，8mA*1.25ppm/mA=10ppm，当前PH3浓度为10ppm。

3.2电压型输出信号转换计算

例如量程0~20ppm，0-10V输出，当输出信号为5V时，计算当前PH3浓度值。此PH3量程的跨度为20ppm，用10V电压信号来表达，20ppm/10V=2ppm/V，即电压1V代表PH3浓度变化2ppm，测量值5V-0V=5V，5V*2ppm/V=10ppm,当前PH3浓度为10ppm。

3.3 PH3测量单位ppm与mg/m3换算关系

转换公式是基于25℃和1个大气压：X ppm = (Y mg/m3)(24.45)/(分子量)或Y mg/m3 = (X ppm)(分子量)/24.45仅适用于计算PH3 ：1ppm=1.39mg/m3 1mg/m3=0.72ppm

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