三轴力传感器 北京大学申请一种单芯片集成三轴力传感器及其制备方法专利，实现三轴力高分辨率，高线性度，低耦合，低温漂传感检测

北京大学申请一种单芯片集成三轴力传感器及其制备方法专利，实现三轴力高分辨率、高线性度、低耦合、低温漂传感检测

金融界2024年2月7日消息，据国家知识产权局公告，北京大学申请一项名为“一种单芯片集成三轴力传感器及其制备方法“，公开号CN117516786A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本发明涉及微机电系统和集成电路技术领域，特别是关于一种单芯片集成式三轴力传感器及其制备方法。集成式三轴力传感器由三轴力传感器和电路系统组成，三轴力传感器由应变体、位于应变体中央的受力体、支撑应变体和受力体的框架、以及嵌入于应变体中的力敏电阻组成，能同时检测法向力与剪切力；电路系统实现三轴力传感器信号的高信噪比检测。所述集成式三轴力传感器使用SOI CMOS或者体硅CMOS工艺，以及post‑MEMS工艺把三轴力传感器和电路系统制备在一个芯片上，可显著提高三轴力传感器的信噪比，实现三轴力高分辨率、高线性度、低耦合、低温漂传感检测，还可以减小三轴力传感器的体积、重量和成本。

本文源自金融界

微小体积微小量程三轴力传感器使用场合 一

微小体积微小量程三轴力传感器使用场合

一、航空航天领域

在航空航天领域，微小体积微小量程三轴力传感器被广泛应用于飞机、卫星等飞行器的姿态控制和导航系统中。由于飞行器在高速飞行或轨道运动中，受到的力和力矩非常微小，因此需要高精度的力传感器来测量这些力和力矩，以保证飞行器的稳定性和安全性。微小体积微小量程三轴力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高等优点，非常适合在这种环境下使用。

二、机械制造业

在机械制造业中，微小体积微小量程三轴力传感器被广泛应用于机器人、精密机床等设备的力控制和测量中。这些设备需要精确地控制力和力矩，以保证加工精度和产品质量。微小体积微小量程三轴力传感器可以实时监测设备受到的力和力矩，为控制系统提供准确的反馈信号，从而实现精确的力控制和测量。

三、生物医学领域

在生物医学领域，微小体积微小量程三轴力传感器被广泛应用于生物力学研究、康复训练等领域。例如，在生物力学研究中，科学家需要测量细胞、组织等生物材料的力学特性，以了解它们的功能和生理状态。微小体积微小量程三轴力传感器可以精确地测量这些生物材料受到的力和形变，为科学家提供准确的实验数据。在康复训练中，微小体积微小量程三轴力传感器可以帮助医生和康复师评估患者的肌肉力量和运动协调性，从而制定个性化的康复计划。

四、汽车电子领域

在汽车电子领域，微小体积微小量程三轴力传感器被广泛应用于车辆控制和安全系统中。例如，在车辆控制系统中，微小体积微小量程三轴力传感器可以实时监测车辆受到的力和力矩，为控制系统提供准确的反馈信号，从而实现精确的车辆控制。在安全系统中，微小体积微小量程三轴力传感器可以监测车辆的碰撞力和加速度等参数，为安全气囊等安全装置提供触发信号，保护乘客的安全。

五、其他领域

除了以上几个领域，微小体积微小量程三轴力传感器还可以应用于许多其他领域，如材料测试、地质勘探、环境监测等。在这些领域中，微小体积微小量程三轴力传感器可以精确地测量物体受到的力和形变等参数，为相关研究和应用提供准确的实验数据。

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