加速度传感器 价格 芯动联科申请一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法专利，制造成本低

芯动联科申请一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法专利，制造成本低

金融界2024年6月25日消息，天眼查知识产权信息显示，安徽芯动联科微系统股份有限公司申请一项名为“一种三轴MEMS加速度传感器及其Z轴感测单元的制造方法”，公开号CN202410263974.2，申请日期为2024年3月。

专利摘要显示，本发明公开一种三轴MEMS加速度传感器，由X、Y、Z三个独立的感测单元构成，X、Y轴感测单元均由外延多晶硅单独制作；Z轴感测单元由外延多晶硅和下层多晶硅共同制作，下层多晶硅通过Z轴电极锚点固定在衬底上，作为Z轴固定电极，外延多晶硅作为Z轴可动电极，由于MEMS结构只通过支撑锚点与衬底连接，衬底应力对器件的影响较小。其Z轴感测单元的制造方法是先在第一氧化层上形成下层多晶硅图形，再淀积第二氧化层并形成通孔图形，接着通过外延工艺形成外延多晶硅层，再刻蚀外延多晶硅层并加长时间刻蚀通孔多晶硅和下层多晶硅，最后HF腐蚀除去部分第二氧化层和第一氧化层，释放MEMS结构，由于不需要昂贵的SOI圆片，制造成本低。

本文源自金融界

航天科技：公司加速度传感器处于领先地位

金融界6月27日消息，有投资者在互动平台向航天科技提问：公司加速度传感器在处于领先地位，传感器芯片是国产的么。

公司回答表示：尊敬的投资者。

本文源自金融界AI电报

相关问答

加速度传感器70元,利用拉绳位移传感器底部4个固定螺丝孔,依现场及机器安装空间设施需要,直接安装或另加保护或其他机械使用。不锈钢索安装时,须注意...

[最佳回答]加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。加速度传感器的工作原理是由于加速度产生某个介质产生变形,通过测量其变形量并用相关电路转化成电压输...

[最佳回答]加速踏板传感器大概需要50元(查成交价|参配|优惠政策)左右:1、传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一定规律变换成为...

[回答]加速度传感器低频响应的截至频率不够低,与传感器配套使用的恒流电压源或电荷放大器的截至频率不够低,大多是由于加速度传感器的低频噪声大,这就需要...

[最佳回答]传感器产生的电信号与所测量的物理量成比例不好说优缺点个有所长看你测量什么也可用加速度传感器测速度但要加一个积分放大器传感器产生的电...

[最佳回答]加速度传感器加速度传感器,包括由硅膜片、上盖、下盖,膜片处于上盖、下盖之间,键合在一起;一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上,并采用压...

[最佳回答]是ABS传感器,装在固定车轮的羊角上面!【汽车有问题,问汽车大师。4S店专业技师,10分钟解决。】

加速传感器顾名思义就是一种能够测量出产品加速度的一种设备。生活中我们一般常用的主要是两种加速度计,分别是角加速度计和线加速度计。生活中我们...

振动加速度传感器和加速度计都是用来测量物体加速度的装置,但它们有一些区别。1.原理不同:振动加速度传感器通过测量物体的振动来确定加速度,而加速度计则利...

加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速过程中,通过对质量块所...