一文了解热式气体流量传感器

热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器，利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。

流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成，热偶堆对称的分布在加热电阻的上、下游，加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。

当流体静止时，加热电阻两侧对称位置的温度是相同的，当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜，加热电阻两侧对称位置的温度不再相同，温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可以直接测出流体质量流量。

热式气体流量传感器利用比较简单的构造来准确地测量气体的质量流量，具有结构简单、压损小、量程范围宽等优点，在工业过程控制、医疗设备、便携式仪器、环境监测设备等领域有着广泛的应用。

在医疗设备中，流量传感器是气路系统的重要元件，医院的病床供氧、楼层管道供氧以及呼吸机、制氧机、麻醉机等医疗设备中，为保证治疗效果，需要精准控制气体流量。

医疗设备的精准控制是关乎患者生命安全的大事，现代化的多传感器融合技术也让医疗过程有了可靠的解决方案。

流量是很多领域的一个重要参数，在工业控制和民用设施中，为了保证设备无故障检测及检测结果的可靠性，许多过程都需要气体介质的流入和流出量保持一致，这就离不开流量传感器的精准测量。

原子分光光度计、气相色谱仪、气密检漏仪、风速计、粒子计数器等仪器仪表中，都会用到流量传感器。

在环境治理研究中，需要气体以流动形式参与反应，流动相反应过程中气体始终处于流动状态，因此实验过程中也需要通过流量传感器来精准调节气体流量稳定参与反应。

随着技术的发展，国内的气体流量传感器在结构、测量精度、灵敏度、稳定性、功耗、成本等方面都有了很大的提升，越来越能够满足不断变化的市场需求。

炜盛科技自主研发的气体流量传感器于2012年即成功面世并取得相关专利，同时我们还参与起草了《JB/T 13111-2017 热式质量流量传感器》的行业标准。

MEMS热式气体流量传感器及其应用选型

热式气体流量传感器简介

热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器，利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。

流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成，热偶堆对称分布在加热电阻的上、下游，加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。

加热电阻对热偶堆的热结进行加热，热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压。当流体静止时，加热电阻两侧对称位置的温度是相同的； 当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜，加热电阻两侧对称位置的温度不再相同，温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定 。

由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可以直接测出流体质量流量。

热式气体流量传感器特点及应用

热式气体流量传感器利用比较简单的构造来准确地测量气体的质量流量，具有结构简单、压损小、量程范围宽等优点，在工业过程控制、医疗设备、便携式仪器、环境监测设备等领域有着广泛的应用。

热式气体流量传感器选型

热式气体流量传感器是一种广泛应用于气体流量测量领域的设备，具有精度高、稳定性好、响应速度快等优点。在选型时，需要根据实际应用场景、气体性质等方面进行综合考虑。

不同的应用场景对气体流量传感器的需求不同。例如，在工业生产过程中，需要对气体流量进行精确控制，以确保生产过程的稳定性和产品质量；而在环保监测领域，需要测量各种气体污染物排放量，以评估环境污染程度。因此，在选型时，需要明确实际应用场景，以便选择合适的传感器。其次，我们需要考虑气体性质。不同的气体具有不同的物理性质和化学性质，对传感器的测量精度和稳定性都会产生影响。例如，有些气体具有腐蚀性，会对传感器造成损害；有些气体密度较小，容易在管道中产生涡流和紊流，影响测量精度。因此，在选型时需要充分了解气体性质，以便选择适合的气体流量传感器。

炜盛科技流量传感器是基于先进的MEMS硅工艺制成的热式质量流量传感器，具有功耗低、体积小、无需稳压补偿、抗冲击、稳定可靠等特点，为医疗、仪器、自动化、燃气计量等领域的气体流量检测提供传感器解决方案。

MEMS热式气体流量传感器FR系列

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