vti传感器 不可或缺的12大关键传感器（世界顶尖品牌）

不可或缺的12大关键传感器（世界顶尖品牌）

一、光线传感器

光线传感器，是可根据手机所处环境的光线来调节手机屏幕的亮度和键盘灯。需要提醒的是，从2002年的 诺基亚7650(带有扬声器感应)开始，便有了光线传感器，光线传感器的好处：可根据手机所处环境的光线来调节手机屏幕的亮度和键盘灯。

比如光线充足的地方，屏幕很亮，键盘灯就会关闭；相反屏幕在暗处，键盘灯就会亮，屏幕较暗(当然与屏幕亮度的设置也有关系)，因此，不但保护了眼睛又节省了能量，可以说一举两得。而且光线传感器在进入睡眠模式的时候，会发出蓝色周期性闪动的光，十分好看。

光线传感器位于前摄像头旁边的一个小点， 假如在光线充足的情况下(室外或者是灯光充足的室内)，大概在2-3秒之后， 键盘灯会自动熄灭， 即使再操作手机， 键盘灯也不会亮, 除非到了光线比较暗的地方，又一个键盘灯才会自动的亮起来; 如果在光线充足的情况下， 试着用手将光线感应器遮上， 2-3秒之后， 键盘灯会自动亮起来， 这个就是光线感应器的作用， 无疑起到一个节电的功能。

光线传感器世界级品牌： 德国著名品牌：（PEPPERL+FUCHS）倍加福、(SICK)西克、（Baumer）堡盟、(BALLUFF)巴鲁夫、（TURCK）图尔克、（Microsonic）威声、（IFM）易福门；（Leuze electronic）劳易测；日本著名品牌：（KEYENCE）基恩士、（OMRON）欧姆龙；美国著名品牌：（banner）邦纳。

二、声音传感器

声音传感器的作用相当于一个话筒(麦克风)。它用来接收声波，显示声音的振动图像，但不能对噪声的强度进行测量。该传感器内置一个对声音敏感的电容式驻极体话筒。声波使话筒内的驻极体薄膜振动，导致电容的变化，而产生与之对应变化的微小电压。这一电压随后被转化成0-5V的电压，经过A/D转换被数据采集器接受，并传送给计算机。

比如最典型的声控开关的使用，就是声音传感器在人们现实生活中的具体应用。作为电子技术的一个部分，声音传感器参入的声控开关，能够实现了电灯的自动发亮、节能节电、延长灯使用寿命的目标。声控电路不需要专门的传统开关，尤其在黑色的夜晚，只要有人通过，打出声音，电灯就会自动点亮，当人离开以后，电灯又会自动关闭。声控开关广泛应用于楼梯、走廊、办公区、招待所等公共场合，声控开关给人们的工作生活带来了很多方便，使用也越来越广泛。

声控电路是用声音和光控制电路工作的电子装置。它可以把声音和光转换成电信号，从而实现对各种电器设备的控制，因此，声控电路在很多家用电器和工业电器设备中都有广泛应用。再比如在声控洒水灭尘器上的应用，声控洒水灭尘器操作十分简单，只要能发出声音，告诉它洒水灭尘即可开始工作。声控洒水灭尘器实际上是通过声控开关来对电磁阀进行控制启动的。小型的洒水灭尘器在很多公共场所有所应用，比如广场、学校、医院、公园等。

声音传感器世界级品牌 ：日本基恩士、富士；德国库伯勒超声波传感器，以色列MKM光纤声音传感器；优利德是中国市场的第一大品牌。中国是全球测试仪表市场增长最快的国家。

三、距离传感器

距离传感器又叫位移传感器，也称为线性传感器，它是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型和结构型两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多，包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、自整角机、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器等。数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统。这种传感器发展迅速，应用日益广泛。

手机上距离传感器是必备的元器件。距离感应器一般都在手机听筒的两侧或者是在手机听筒凹槽中，这样便于它的工作。比如当用户在接听或拨打电话时，将手机靠近头部，距离感应器可以测出之间的距离到了一定程度后便指挥屏幕背景灯熄灭，拿开时再度点亮背景灯，这样更方便用户操作也更为节省电量。

当接通电话时，如果挡住距离感应器(在辅助摄像头和光线感应器之间的不明显的小长方形)的话，屏幕会变黑。在你接电话时，屏幕会变黑，节约用电的同时还可以防止误操作。距离感应器可以说是每一台智能手机必备的功能，主要是为了防止误操作。

位移传感器世界级品牌 ：德国著名品牌：BALLUFF，NOVOtechnik和Heidenhain ，德国micro epsilon，德国西克；从测量精度和稳定性角度讲，德国micro-epsilon位移传感器的品质最高；日本著名品牌：基恩士，欧姆龙，日本optex，日本松下；日本品牌的位移传感器会大量使用数学算法优化测量结果，说白了就是对测量数据取大量的平均，希望得到更为平滑的测量结果。对于要求不太高的用户来说，得到一个这样的结果也就够用了。美国著名品牌：MTS； 意大利著名品牌：GEFRAN。

四、图像传感器

图像传感器，是利用光电器件的光电转换功能将感光面上的光像转换为与光像成相应比例关系的电信号。图像传感器分为光导摄像管和固态图像传感器。与光导摄像管相比，固态图像传感器具有体积小、重量轻、集成度高、分辨率高、功耗低、寿命长、价格低等特点。因此在各个行业得到了广泛应用。

值得一提的是，CCD是应用在摄影摄像方面的高端技术元件，CMOS则应用于较低影像品质的产品中，它的优点是制造成本比CCD更低，功耗也低得多，这也是市场很多采用USB接口的产品无须外接电源且价格便宜的原因。

图像传感器或称感光元件，是一种将光学图像转换成电子信号的设备，它被广泛地应用在数码相机和其他电子光学设备中。早期的图像传感器采用模拟信号，如摄像管(video camera tube)。现在包括手机上的关键零部件——图像传感器已成为业界重点关注的对象，吸引着众多厂商投入。以产品类别区分，图像传感器产品主要分为CCD、CMOS以及CIS传感器三种。

CMOS传感器采用一般半导体电路最常用的CMOS工艺，具有集成度高、功耗小、速度快、成本低等特点。CMOS针对CCD最主要的优势就是非常省电。不像由二极管组成的CCD，CMOS电路几乎没有静态电量消耗。这就使得CMOS的耗电量只有普通CCD的1/3左右，CMOS重要问题是在处理快速变换的影像时，由于电流变换过于频繁而过热，暗电流抑制的好就问题不大，如果抑制的不好就十分容易出现噪点。CMOS传感器的最大优势，是它具有高度系统整合的条件。图像传感器在手机上主要用于人脸识别，拍照等。

图像传感器世界级品牌： 全球处于翘楚地位的是美国安捷伦Agilent(HP)，其市场占有率51%、ST(VLSI Vision)占16%、Omni Vision占13%、现代占8%、Photobit约占5%，这五家合计市占率达93%。而早在2018年全球CMOS图像传感器的市场规模为137亿美元，日本索尼的市场占有率为49.9%，排在行业第一；三星排名第二，市占率为19.6%，豪威科技排名第三，市占率达到10.3%，而出人意料的是，SK海力士排在了第四位，安森美排在第五位。在各应用领域的主流产品中，绝大部分采用了全球三大巨头的CMOS传感器。

市场热门的手机都是采用索尼、三星与豪威科技（Omnivision，简称OV）的产品，这三家把持着大部分消费类电子领域CMOS传感器的市场份额。而在汽车和安防等行业应用领域，一般都是选用美国著名品牌安森美，OV与索尼三家的产品。SK海力士可谓是CMOS领域的一匹大黑马，在非常短的时间内就挤进了全球CMOS图像传感器厂商排名前十位。

五、指纹传感器

指纹传感器(又称指纹Sensor)是一种传感装置，属于光学指纹传感器半导体指纹传感器一种，是实现指纹自动采集的关键器件。指纹传感器的制造技术是一项综合性强、技术复杂度高、制造工艺难的高新技术。

指纹传感器是实现指纹自动采集的关键器件。指纹传感器按传感原理，即指纹成像原理和技术，分为光学指纹传感器、半导体电容传感器、半导体热敏传感器、半导体压感传感器、超声波传感器和射频RF传感器等。指纹传感器的制造技术是一项综合性强、技术复杂度高、制造工艺难的高新技术。

半导体指纹传感器因其制造工艺复杂，单位面积上传感单元多，包含高端的IC设计技术、大规模集成电路制造技术、IC芯片封装技术等，所以半导体指纹传感器几乎全部是由IC技术发达的国家或地区，比如美国、欧洲、中国台湾等地设计制造的。值得一提的是，一颗不足0.5平方厘米的晶片表面集成了10000个以上的半导体传感单元。内部还包括了自动增益电路和逻辑控制芯片，以及串行、并行、USB等接口电路。半导体指纹传感器的灵敏度高，分辨率也达到了500dpi或以上。其功能已经突破了单一的传感能力，加上软件配合，可以用做全向导航器。半导体指纹传感器已朝小型化方向发展。

指纹传感器世界级品牌： 美国品牌高通：早在2017年就推出的超声波指纹传感器技术，最终用在了三星Galaxy S10上。高通的第二代超声波指纹传感器正推进中。瑞典著名品牌：FPC。FINGERPRINT CARDS是一家生物识别技术公司，总部位于瑞典 。AuthenTec，在2012年被苹果收购之前，AuthenTec就已经成为世界领先的指纹传感器及芯片与模组、身份识别软件和加密安全方案的供应商。

其客户包括：阿尔卡特-朗讯，思科，惠普，三星，联想，LG，摩托罗拉，诺基亚等等。现在只对苹果专供。AuthenTec是世界领先的海量 PC、无线设备以及访问控制市场指纹认证传感器和解决方案的提供商。汇顶科技是国产指纹识别芯片龙头企业，曾经是华为，OV，小米，魅族等多家知名品牌的供应商。拥有自主知识产权的Goodix Link技术 、指纹识别与触控一体化的IFS技术 、活体指纹检测技术 、屏下光学指纹识别技术等，产品和解决方案应用在 华为、联想、中兴、OPPO、vivo、魅族、乐视、三星显示、JDI、诺基亚、东芝、松下、宏碁、华硕等国际国内著名终端品牌。

六、重力传感器

重力传感器是根据压电效应的原理来工作的。采用弹性敏感元件制成悬臂式位移器，与采用弹性敏感元件制成的储能弹簧来驱动电触点，完成从重力变化到电信号的转换，广泛应用在中高端智能手机和平板电脑内。

所谓的压电效应就是 "对于不存在对称中心的异极晶体加在晶体上的外力除了使晶体发生形变以外，还将改变晶体的极化状态，在晶体内部建立电场，这种由于机械力作用使介质发生极化的现象称为正压电效应 "。

重力传感器就是利用了其内部的由于加速度造成的晶体变形这个特性。由于这个变形会产生电压，只要计算出产生电压和所施加的加速度之间的关系，就可以将加速度转化成电压输出。当然，还有很多其它方法来制作加速度传感器，比如电容效应，热气泡效应，光效应，但是其最基本的原理都是由于加速度产生某个介质产生形变，通过测量其变形量并用相关电路转化成电压输出。

重力传感器在进入消费电子市场之前，已被广泛应用于汽车电子领域，主要集中在车身操控、安全系统和导航。典型的应用：比如汽车安全气囊(Airbag)、ABS防抱死刹车系统、电子稳定程序(ESP)、电控悬挂系统等。

值得一提的是，重力感应器是由苹果公司率先开发的一种设备，它已运用在了iphone和ipod-nano4上面。简单说就是，假如把手机拿在手里是竖着的，若将它转90度，横过来，它的页面就跟随你的重心自动反应过来，也就是说页面也转了90度，因此极具人性化。

重力传感器世界级品牌： 瑞士著名品牌：ABB；美国著名品牌：（Honeywell）霍尼韦尔、OMEGA、Magtrol、AMETEK阿美特克；德国著名品牌：SIEMENS西门子；德国著名品牌：tecsis、SIKA席卡、Baumer堡盟、HBN。

七、温度传感器

温度传感器，是指能感受温度并转换成可用输出信号的传感器。温度传感器是温度测量仪表的核心部分，品种繁多。按测量方式可分为接触式和非接触式两大类，按照传感器材料及电子元件特性分为热电阻和热电偶两类。 温度传感器是最早开发，应用最广的一类传感器。温度传感器的市场份额大大超过了其他的传感器。 从17世纪初人们开始利用温度进行测量。在半导体技术的支持下，本世纪相继开发了半导体热电偶传感器、PN结温度传感器和集成温度传感器。与之相应，根据波与物质的相互作用规律，相继开发了声学温度传感器、红外传感器和微波传感器。　

温度传感器可以说是五花八门的各种传感器中最为常用的一种，现代的温度传感器外形非常得小，这样更加让它广泛应用在生产实践的各个领域中，也为人们的生活提供了无数的便利和功能。

温度传感器有四种主要类型：热电偶、热敏电阻、电阻温度检测器（RTD）和IC温度传感器。IC温度传感器又包括模拟输出和数字输出两种类型。

在手机上，无敌传感器监测手机电池的温度和cpu的温度的，温度异常会自动关机。温度传感器也能检测外界空气中的温度变化，甚至是用户的体温。其原理是利用物质各种物理性质随温度变化的规律把温度转换为可用输出信号。

温度传感器世界级品牌： 美国著名品牌：德州仪器、霍尼韦尔、OMEGA 、BANNER；德国著名品牌：西门子、IFM、SIKA、Baumer、KROHNE、 JUMO；日本著名品牌：欧姆龙、NTC、横河；意大利与法国品牌：ST意法半导体。

八、地磁传感器

地磁传感器可用于检测车辆的存在和车型识别。尤其是数据采集系统在交通监控系统中起着非常重要的作用。地磁传感器是数据采集系统的关键部分，传感器的性能对数据采集系统的准确性起决定作用。地磁场是地球的固有资源，为航空、航天、航海提供了天然的坐标系，可应用于航天器或舰船的定位定向及姿态控制。利用地球磁场空间分布的磁导航技术简便高效、性能可靠、抗干扰是全球发达国家不可缺少的基本导航定位手段之一，比如自动化程度很高的波音飞机都装载有磁导航定位系统。地磁传感器的功能是相当强大的:比如当驾驶员把车辆停在车位上，地磁传感器能自动感应车辆的到来并开始计时;待车辆要离开时，传感器会自动把停车时间传送到中继站进行计费。因此，解决停车收费效率低下，曾经是地磁传感器的优势之一。

地磁传感器可用于检测车辆的存在和车型识别。利用车辆通过道路时对地球磁场的影响来完成车辆检测的传感器与目前常用的地磁线圈(又称地感线圈)检测器相比，具有安装尺寸小、灵敏度高、施工量小、使用寿命长，对路面的破坏小等优点，在智能交通系统的信息采集中必将起到非常重要的作用。在手机上的应用于指南针，和导航地图。

地磁传感器世界级品牌 ：美国品牌：PNI、Memsic地磁传感器；日本阿尔卑斯电气高方位检测精度地磁传感器HSCDTD004A。

九、气压传感器

气压传感器是用于测量气体的绝对压强的仪器，主要适用于与气体压强相关的物理实验，比如气体定律等，也可以在生物和化学实验中测量干燥、无腐蚀性的气体压强。空气压缩机的气压传感器主要的传感元件是一个对气压的强弱敏感的薄膜和一个顶针开控制，电路方面它连接了一个柔性电阻器。当被测气体的压力降低或升高时，这个薄膜变形带动顶针，同时该电阻器的阻值将会改变。电阻器的阻值发生变化。从传感元件取得0-5V的信号电压，经过A/D转换由数据采集器接受，然后数据采集器以适当的形式把结果传送给计算机。

气压传感器通常用来测量天气的变化和利用气压和海拔高度的对应关系用于海拔高度的测量。智能机都使用了气压传感器。通过压力传感器里测量大气压，进而根据气压值计算出海拔高度，同时还能够根据温度传感器数据来结果进行修正，以得到更精确的数据，同时成本会更低。用压力传感器来计算海拔算是一项不错的应用。气压传感器能够检测测量海拔高度，将薄膜与变组器或电容连接在一起，当气压产生变化时，会导致电阻或电容数值发生变化，藉此量测气压的数据。同时利用压力传感器还可以用来辅助导航。

气压传感器世界级品牌：美国著名品牌：罗斯蒙特ROSEMONT，霍尼韦尔HONEYWELL；日本著名品牌：横河YOKOGAWA、富士FUJI；瑞士品牌：ABB。

十、加速度传感器

加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。加速度传感器可以帮助机器人了解它身处的环境。是在爬山?还是在走下坡，摔倒了没有?或者对于飞行类的机器人来说，对于控制姿态也是至关重要的。加速度传感器甚至可以用来分析发动机的振动。

加速度传感器可以测量牵引力产生的加速度。加速度传感器主要用于汽车安全气囊、防抱死系统、牵引控制系统等安全性能方面。加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就好比地球引力，也就是重力。加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。因此其的范围比重力感应器要大，但是一般在手机被提到的加速度感应器时，其实就是指重力感应器，因此两者可以看做是等价的。

在安全应用中，加速度计的快速反应非常重要。安全气囊应在什么时候弹出要迅速确定，所以加速度计必须在瞬间做出反应。通过采用可迅速达到稳定状态而不是振动不止的传感器设计可以缩短器件的反应时间。其中压阻式加速度传感器由于在汽车工业中的广泛应用而发展最快。加速度传感器一般用于手机上的计步。

加速度传感器世界级品牌：芬兰VTI；美国Endevco、美国MEAS加速度传感器；德国schenck加速度传感器；德国MMF加速度传感器。

十一、红外传感器

红外传感系统是用红外线为介质的测量系统，按照功能可分成五类， 按探测机理可分成为光子探测器和热探测器。 红外传感技术已经在现代科技、国防和工农业等领域获得了广泛的应用。红外线对射管的驱动分为电平型和脉冲型两种驱动方式。由红外线对射管阵列组成分离型光电传感器。该传感器的创新点在于能够抵抗外界的强光干扰。太阳光中含有对红外线接收管产生干扰的红外线，该光线能够将红外线接收二极管导通，使系统产生误判，甚至导致整个系统瘫痪。本传感器的优点在于能够设置多点采集，对射管阵列的间距和阵列数量可根据需求选取。

红外线传感器特别是利用远红外线范围的感度作为人体检出用，红外线的波长比可见光长而比电波短。红外线让人觉得只由热的物体放射出来，可是事实上不是如此，凡是存在于自然界的物体，如人类、火、冰等等全部都会射出红外线，只是其波长因其物体的温度而有差异而已。人体的体温约为36~37°C，所放射出峰值为9~10微米的远红外线，另外加热至400~700°C的物体，可放射出峰值为3~5微米(不是MM)的中间红外线。

红外线传感器世界级品牌： 德国博世、德国TESTO德图；美国菲利尔；中国香港希玛及优利德、日本石塚红外温度传感器、日本SHARP长距离红外测距传感器。

十二、角速度传感器（陀螺仪）

陀螺仪又叫角速度传感器，不同于加速度计(G-sensor)，它的测量物理量是偏转、倾斜时的转动角速度。在手机或平板上，仅用加速度计没办法测量或重构出完整的3D动作，是测不到转动的动作的。因此，加速度计(G-sensor)只能检测轴向的线性动作。但陀螺仪则可以对转动、偏转的动作做很好的测量。这样，就可以精确分析判断出使用者的实际动作，从而根据动作，对手机或平板做相应的操作。角速度传感器应用场景：首先是游戏与33D应用程序；其次是拍照应用；再次是惯性导航。众所周知，陀螺仪往往应用在手机中摇一摇，VR视角调整和检测。

陀螺仪世界级品牌：世界上最早的陀螺仪是1850年由法国物理学家莱昂·傅科在研究地球自传中获得灵感而发明出来的。而将陀螺仪首次带入手机的则是美国苹果公司创始人—乔布斯。美国首先开发了世界上第一个激光陀螺仪，很快就被用于试验战斗机和火箭，并取得了成功。尤其是20世纪80年代以后，激光陀螺仪在美国海军中广泛使用。前苏联和法国也加入了激光陀螺仪的开发。为了保持优势，美国、英国和法国禁止出售相关技术。值得一提的是，我国的高伯龙院士带领着团队研究了43年终于掌握，使我国成为当时世界上第四个完全掌握激光陀螺仪技术的国家。此外，还有德国Genesys光纤陀螺仪。

新增3条12英寸MEMS产线！中国40条主要传感器芯片产线盘点

如今，几乎谈到传感器，必谈MEMS，MEMS技术对传感器的微型化、智能化、低功耗有着重要作用。

随着国家及各地方政府对半导体、传感器产业的重视，各地纷纷建设智能传感器产业园、传感谷等基地，并以各地政府基金牵头、企业建设等方式，新增多条MEMS产线。

目前全球MEMS产业仍以6英寸、8英寸晶圆产线为主，但越来越多新建产线采用12英寸。2021年6月，国家智能传感器创新中心12英寸先进传感器中试线成功通线，这是中国首条12英寸MEMS产线，增芯科技、赛微电子在建或拟建12英寸MEMS产线。

传感器芯片的研发是推动传感器产业发展的根本 ，不在传感器芯片上下功夫，中国传感器产业想要取得突破性发展是很难的。

本文整理了至今新增MEMS传感器芯片产线和最新进展情况，信息截止2022年8月，是目前最齐全的MEMS产线生产信息盘点。主要有企业IDM产线、代工产线、中试线、研发平台等，包括现有产线和拟新增产线，共计40条MEMS传感器芯片产线信息。

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（在建）1、广州增芯科技（代工）-12英寸

增芯科技有限公司12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目为最新曝光的12英寸晶圆项目。增芯科技为广州湾区智能传感器产业集团有限公司重点项目之一。

该项目总投资高达370亿元！ 是目前国内MEMS产业投资规模较大的晶圆产线之一，建成后将会是中国MEMS代工主要产线之一。

该项目将建设国内第一家专业定制化12英寸传感器晶圆厂 ，打造集研发、量产制造、封测与应用平台。一期第一阶段达产后产能2万片/月；一期第二阶段达产后产能扩至6万片/月。

该项目进入广州市2022年重点建设项目，目前已进入打桩阶段，开始动工建设。

2、赛微电子 （代工）-8英寸

以全球MEMS产线计算，赛微电子是全球及中国最大纯MEMS代工厂 ，2015年在深交所创业板上市，重点发展MEMS工艺开发与晶圆制造业务，2016年全资收购瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供压力、惯性、红外、微镜、光开关、硅麦克风等多种MEMS工艺开发及晶圆制造的服务。

根据半导体市场研究机构Yole Development统计的2020年数据，Silex Microsystems AB 在全球MEMS纯晶圆代工排名中位居第一 ，全球MEMS芯片代工市场（不包含IDM厂商自身制造部分的统计）的占有率约为8%。

赛微电子目前国内的MEMS产线位于北京，2021年6月北京8英寸MEMS产线（北京FAB3）一期建成生产 ，目前（2022年7月）已形成5000片/月产能 ，并计划在今年尽快实现一期1万片/月的产能，在2024/2025年尽快实现3万片/月的总产能。

▲赛微电子董事长杨云春手持北京FAB3生产的8英寸MEMS麦克风晶圆

（拟建）3、赛微电子 （代工）-12英寸

2022年1月3日晚间，赛微电子发布公告，公司于2022年1月1日与合肥高新区管委会签署了《合作框架协议》，拟在合肥高新区投资建设12吋MEMS制造线项目，总投资51亿元，拟建设一座设计产能为2万片/月的12吋MEMS产线，预计满产后可实现年收入约30亿元。将是中国较具规模的12英寸MEMS产线之一。

赛微电子合肥项目公司注册资本拟设定为40亿元，计划赛微电子占股约36%(出资约14.4亿元)、合肥高新区管委会联合市区下属国资平台占股约24%（出资约10亿元）、项目核心团队持股约10%（出资约4亿元）、其他社会资本占股合计约30%（出资约12亿元）。

目前赛微电子主要晶圆产线布局：

①已运营产线： 瑞典FAB1&2-MEMS芯片-8英寸晶圆-产能7,000片/月；北京FAB3-MEMS芯片-8英寸晶圆-设计总产能3万片/月(已实现5,000片/月)；青岛GaN产线-GaN外延晶圆-产能830片/月。

②交易中产线： 德国FAB5-汽车芯片-8英寸晶圆-产能高于8,000片/月。

③筹划/筹建中产线 ：FAB4(内部商业讨论中)；合肥FAB6-MEMS芯片-12英寸晶圆-设计总产能2万片/月；怀柔FAB7-MEMS芯片-6/8英寸晶圆-设计总产能3,000片/月；MEMS先进封测P-FAB1-MEMS芯片-8英寸晶圆-设计总产能1万片/月。

4、绍兴中芯集成（代工）

绍兴中芯集成电路制造股份有限公司(下称“中芯集成”)拥有目前中国大陆本土产能最大的MEMS产线，MEMS晶圆年销量达85000+片。

2018年3月由中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立中芯集成电路制造（绍兴）有限公司。 同年5月，总投资58.8亿元的中芯集成电路制造（绍兴）项目开工奠基，该项目用地207.6亩，新建14.65万平米的厂房，建设一条集成电路8寸芯片制造生产线和一条模组封装生产线。

中芯国际的MEMS方案主要集中在MEMS麦克风、加速度计、陀螺仪、压力、显微镜、超声波传感器、射频器件。

中芯集成一期规划10万片8英寸晶圆月产能。于2020年1月正式投产，5年内持续投资近60亿人民币建设达产，形成芯片年出货51万片和模组年出货19.95亿颗的产业规模，规模化量产麦克风、惯性、射频、MOSFET以及IGBT等产品的芯片和模组，实现年销售收入达40亿人民币，税收4.1亿元，净利2亿元。

2020年第四季度一期产能扩产至每月4万片晶圆，近期其成功完成晶圆设备链调试，8英寸晶圆月产能增至7万片 ，良品率达99%。

2021年度中芯集成一期产能利用率已达93%，于今年（2022年）6月30日递交科创板IPO申请，拟募资达125亿元，“二期晶圆制造项目”拟使用募集资金投入 66.60 亿元，将建成一条月产 7 万片的硅基 8 英寸晶圆加工生产线 ，进一步提升公司 8 英寸 MEMS 和功率器件的代工产能。相关详情请参看《中国大陆规模最大MEMS代工厂将上市！中芯国际是幕后推手》内容。

▲中芯集成电路制造（绍兴）厂房

5、美新半导体 （IDM）

美新半导体（MEMSIC）是全球领先的惯性MEMS传感器及解决方案提供商，于1999年成立, 目前总部位于中国天津，2007年在美国纳斯达克上市，是全球MEMS第一股。

美新半导体在无锡建有8英寸MEMS磁、惯性传感器封测产线。 2021年7月，据绍兴滨海新区管委会公示公告，美新半导体将在绍兴建设MEMS磁传感器生产线及加速度传感器工艺开发实验线 ，该产线预计年产6亿颗 MEMS芯片。

6、海康微影 （IDM）

海康微影是国内红外热成像巨头海康威视旗下企业，主要从事MEMS传感器、红外探测器芯片研发、生产。

2021年11月9日在投资平台上，海康威视透露海康微影已经自建一条8寸MEMS生产线及封装线，具备年产晶圆一万片，探测器百万颗的生产能力。

探测器产线洁净面积达到800平方米、净化级别高达10级的8英寸，拥有业界—流的集成电路设计、MEMS设计、MEMS/封装制程开发、应用成品开发及销售服务团队。

7、上海先进半导体（代工）

上海先进半导体前身是1988年中荷合资的上海飞利浦半导体公司，经过多次改制后，2019年被上海积塔半导体吸收合并 ，改制为上海先进半导体制造有限公司。

先进半导体由传统模拟芯片代工厂转型MEMS代工， 目前有5英寸、6英寸、8英寸晶圆生产线，MEMS生产线可以代工的器件包括：三轴陀螺 仪、加速度计、生物MEMS芯片、光学MEMS、RFMEMS、微流体开关、压力传感器等，可被广泛应用于消费电子、医疗电子以及汽车电子等领域。

目前，该MEMS生产平台拥有世界最先进的深槽刻蚀、键合、硅片边缘修整等设备，设计月产量可达3000片 。

▲上海先进半导体

8、昊润科技 （IDM）

山东昊润自动化技术有限公司从事硅压阻、硅电容OEM传感器，通用型、智能型及行业专用型自动化测控仪表的设计研发和规模化制造。

2011年欧洲经济危机期间，昊润科技收购芬兰VTI公司3D-MEMS 硅电容传感器全套生产线 ，并引进其核心技术。因此，昊润科技拥有自己的3D-MEMS技术和硅电容传感器生产线，年生产规模1500万只 。

9、东方微磁 （IDM）

湖北宜昌东方微磁有限公司是中国船舶重工集团公司第七一〇研究所全资子公司，是一家致力于磁学计量和中国磁电产业发展的高新技术企业，建有国防科技工业弱磁一级计量站、磁电子技术国家地方联合工程实验室、湖北省磁电子工业技术研究院，拥有国内第一条MEMS磁传感器芯片生产线。

东方微磁的MEMS生产线2015年底全部调通，是国内首条可满足工业化生产的磁芯片生产线，保守产能为1000片/月 ，每年至少可生产月2亿颗芯片，共有溅射镀膜、光刻、真空、测试等设备进60台。

10、华润微电子（IDM&代工）

华润微电子是2002年华润集团收购华晶集团改组而成，总部位于无锡，拥有3条6英寸线，其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线 ，具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。

华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩充已经完成 ，并投入使用。光电及MEMS麦克风工艺平台从6英寸升级到8英寸 ，实现批量生产，产品性能及良率水平优秀；整体提升了其MEMS工艺技术水平和竞争能力。

▲华润微电子

11、华虹宏力（代工）

华虹由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制造有限公司合并而成，自建设中国大陆第一条8英寸（200mm）集成电路生产线起步，华虹宏力在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆厂（华虹一厂、二厂及三厂），月产能约18万片。

在8英寸制造平台上，华虹实现MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线的全兼容。 已流片的产品包括磁力计、加速度计、压力传感器等。

▲上海华虹宏力三厂

12、德尔森 （IDM）

德尔森集团是一家中德合作的高新技术企业，集团总部与产品设计中心位于德国法兰克福和中国南京。

德尔森与南京市共同建立江苏MEMS智能传感器研究院，投资1.04亿元建有基于德国CIS研究院技术的MEMS压力传感器芯片产线 。

13、英特神斯科技 （代工）

江苏（南京）英特神斯科技有限公司是全球MEMS软件巨头美国Intellisense的中国战略研发机构，在江苏南京建有MEMS传感器芯片工艺线 ，与北京大学、清华大学、中国科学院等众多科研机构建立了战略合作关系。

14、力盛芯 （IDM）

力盛芯（洛阳）电子科技公司是由台湾LED产业之父石修投资建立的企业，主要生产微机电工艺传感器、硅基微型聚光斗芯片和微机电工艺集成电路代工制造三大类产品。2017年总投资9亿元，约5万平方米的8英寸MEMS芯片厂正式投产。

15、浙江芯动科技（代工）

浙江芯动科技有限公司位于浙江省嘉兴市，是一家专注高端MEMS代工并拥有自主知识产权的生产加工企业，是纳杰微电子旗下公司。

芯动科技拥有先进的6英寸MEMS芯片产业化生产线 ，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全过程，生产压力、加速度计、陀螺仪，光镜和生物医学等MEMS传感器芯片产品。

芯动科技目前已投入1亿多用于产线的建设，计划联合资本方在未来2-3年投入5亿元人民币继续完善制造基地的相关设备设施。该基地目前建筑面积为3000平方米，是中国最先进的MEMS器件加工平台之一 ，具备芯片制造、封装测试等一系列的能力。

▲浙江芯动科技厂房

16、睿创微纳（IDM）

睿创微纳总部位于山东烟台，是从事专用集成电路、红外热像芯片及MEMS传感器设计与制造的企业。

睿创微纳的8英寸MEMS晶圆生产线 由公司与代工厂共建，已量产，月产能1500片晶圆 。

2020年7月，与烟台开发区签署协议，建设一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线。其中，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件以及功率器件；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RF MEMS器件和惯性MEMS传感器等。

▲睿创微纳

17、罕王微电子（IDM&代工）

罕王微电子是一家以MEMS传感器设计及制造生产为核心的高科技中美合资企业，总部位于辽宁省沈抚新区，系罕王集团控股子公司。

罕王微电子2016年收购美信旗下MEMS传感器业务，2018年建成国内首条8英寸纯MEMS规模化量产线 ，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全流程，设计晶圆产能36万片/年 。生产传感器包括：陀螺仪、IMU惯性测量单元、射频RF-MEMS及加速度、温度、湿度、压力、应力传感器等。

18、河北美泰（IDM）

中国电子科技集团第十三研究所全资子公司 ，2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS 器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。

6英寸SOI MEMS标准工艺和封装技术 用于MEMS陀螺仪、加速度计、振动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线月产能达到1万片 。

19、厦门西人马（IDM）

西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马联合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人马MEMS高端传感器和芯片制造基地，占地70亩，建筑面积20000㎡，具有6000㎡的超净车间和先进微纳米研究实验室，配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台。

西人马19年11月获得朗润基金数千万A轮融资，20年一季度获得A+轮的1亿元人民币融资，2021年3月获B轮融资，发展迅速，西人马已经成为国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产量可以达到几十万颗。

20、广州奥松电子（IDM&代工）

奥松电子成立于2003年，专注于MEMS半导体工艺技术，是国内率先应用MEMS半导体工艺技术生产传感器芯片的高新技术企业 ，也是广东省MEMS领域集研发、设计、制造、封装测试、终端应用为一体的MEMS智能传感器全产业链（简称IDM）企业。

2020年9月，广州奥松电子有限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。

奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程，生产设备约占整个投资规模的70%。根据规划，2021年二期工程建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线；2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线；总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到4万片，

2021年8月，奥松电子官网宣布对外开放MEMS芯片代工业务，包括设备共享、技术支持、企业孵化等服务。

2021年4月奥松电子控股的全资子公司——奥松半导体（珠海）有限公司，将在珠海高新技术产业开发区建设8英寸先进MEMS特色半导体IDM产业基地项目 。该项目建成后，将成为国内先进的MEMS芯片及智能传感器产业集群，提高MEMS芯片的代工和量产能力。

21、诺思微系统（IDM）

诺思微系统位于天津，是一家无线设备射频前端MEMS滤波芯片服务商，其产品主要采用薄膜体声波谐振器(FBAR)技术以及硅衬底的微机电系统(MEMS)制造技术，同时为无线射频滤波器、双工器、和多工器等提供解决方案。

诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆生产线和一条4英寸工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米。

2021年3月，国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目在诺思微系统启动，针对5G/6G无线通讯、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的技术要求，对实现晶圆级硅基MEMS压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面，有重要意义。

2021年8月完成4亿元融资，预计在一年内全面加速产能释放，达年产20亿颗滤波器芯片的产能规模。

22、多维科技（IDM&代工）

成立于2010年，总部在江苏张家港，建设有完整的第四代磁传感技术——隧道磁电阻（TMR）的磁性感应芯片产线。

多维科技的磁传感器晶圆代工厂拥有6英寸和8英寸MEMS晶圆产线，提供完整的磁传感器（AMR / GMR / TMR）开发及晶圆制造服务（包括设计、制造和测试），年产10亿个TMR磁传感器。

2021年5月多维科技获4亿元融资，将用于对现有产线进行升级，能够进一步强化“自研、自产、技术领先”的核心竞争力。

▲点击小程序可查看多维科技介绍&产品信息

23、湖南启泰传感科技（IDM）

2006年成立，总部在湖南浏阳。启泰传感以王国秋教授为首的科研团队攻克了异质膜关键工艺与技术，建设国内第一条金属基薄膜力敏芯片——MEMS压敏传感芯片生产线 ，是世界上少数几家具有金属溅射薄膜压敏芯片规模化生产能力的公司之一。

2019年8月该生产线实现批量生产，年产压敏传感芯片50万颗，至2021年一期工程顺利完工投产，用地面积35亩，建设总用地面积2万多平米，传感器芯片年生产能力可达600万颗，传感器封装200万支，年产值可达10亿元。

二期项目正在进行，预计完工后，传感器芯片产能将达2000万颗，传感器封装1000万支，年产值可达50亿元。

▲点击小程序可查看启泰传感介绍&产品信息

24、高德红外（IDM）

高德红外创立于1999年，总部位于武汉，拥有8 英寸 0.25um 批产型 MEMS 生产线，是目前国内唯一一条自主可控且具备批产能力的非制冷红外焦平面探测器生产线， 已实现从 120×90 到 1280×1024 从低到高各类面阵规格产品型号批产能力。

高德红外目前已拥有3条8英寸红外探测器产线，据2021年8月消息，年底将有新产线投产，并提高3~4倍产能。

（在建）25、锐石创芯（IDM）

锐石创芯是一家专注于高性能的4G/5G射频前端产品的研发及销售的公司，主要应用于智能手机、物联网终端、平板电脑。

锐石创芯MEMS器件生产基地新建项目位于重庆，总占地面积120亩，总投资22亿。其中一期投资约8亿元，项目核心厂房由晶圆厂和动力站组成 ，建筑面积共2.65万平方米，目前主体建筑已封顶，主要生产射频前端MEMS芯片。

26、武汉衍熙微器件（IDM）

武汉衍熙微器件拥有全国第一条8寸体声波（BAW）量产线 ，具有先进的光刻、薄膜、蚀刻以及封装设备，并建立创新自主开发的产品生产流程。该产线主要产品有MEMS滤波器、双工器等。

2018年，武汉衍熙微器件进行项目扩建，一期为租赁现有厂房5600平方米，建设3600平方米的无尘室车间；二期计划建设约10000平方米的无尘室车间，用于扩大生产。

27、士兰微（IDM）

杭州士兰微1997年成立，是国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一。

自2010年开始，士兰微电子投入大量资金，通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发，在6吋、8吋芯片生产线上实现了批量制造能力，并建立自己的MEMS封测生产线 ，初步走通了系列传感器的IDM发展之路，已申请相关发明专利百余项。

目前士兰微MEMS传感器产品系列丰富，有：MEMS加速度计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高性能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高性能气压压力传感器等。

2021年7月30日，士兰微发出资产重组公告，引入国家集成电路产业投资基金股份有限公司，募集11亿元。

28、苏州固锝（IDM）

苏州固锝成立于1990年，是国内二极管龙头企业，旗下子公司明锐光电、明皜传感、艾特曼电子等涉足MEMS传感器IDM业务。

2010年固锝收购明锐光电，明锐光电主要从事MEMS-CMOS三维集成制造平台技术及八英寸晶圆级封装技术及产线和产品研发。

2011年成立明皜传感，从事微机电传感器芯片和器件的工艺开发、设计。2021年8月，明皜传感获小米投资，注册资本由 6443.64 万元人民币增加至 7085.19 万元人民币，增幅为 9.96%。

2021年6月，苏州固锝与华景传感合资成立华锝半导体，愿景是将华景传感的MEMS麦克风芯片设计技术与苏州固锝的封测技术及生产经验相结合，逐步实现MEMS麦克风在高端领域的进口替代。

同月，华锝MEMS声学传感器及射频滤波器封测项目落户苏州。项目一期产线将建立符合华为体系标准的MEMS声学传感器的封测基地，主要客户有小米、科大讯飞等；二期将引入国内首创MEMS麦克风及射频滤波器的WLP晶圆级封装产线，该晶圆级封装为芯片流片工艺最后一道关键工艺，华锝将拥有自主晶圆级封装相关自主技术知识产权。

29、沈阳仪表科学研究院（中试线）

沈阳仪表科学研究院传感器国家工厂研究中心是我国唯一的国家级传感器工程研究中心，在中国传感器研发、生产、应用等方面有着举足轻重的地位。是我国传感器标准起草牵头单位、传感器行业协会理事长单位。

研究中心建有4英寸中试线，主要用于MEMS传感器研发生产使用。

30、国家智能传感器创新中心（中试线）

2021年6月30日，由国家智能传感器创新中心（简称“创新中心”）建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。

该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。

31、苏州纳米城（中试线）

苏州纳米城6英寸MEMS中试线由苏州纳米科技发展有限公司 （苏州工业园区政府出资）建设，是江苏省“十二五”重大科技平台项目。

苏州6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线采用市场化、全开放的运作模式，主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品

32、苏州纳米城（中试线）

苏州纳米城6英寸MEMS中试线由苏州纳米科技发展有限公司 （苏州工业园区政府出资）建设，是江苏省“十二五”重大科技平台项目。

苏州6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线采用市场化、全开放的运作模式，主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、专利运营、设备租赁、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品

33、苏州纳米技术与纳米仿生研究所（中试线）

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所由中国科学院与江苏省人民政府、苏州市人民政府和苏州工业园区于2006年共同创建。研究所前瞻布局了电子信息、纳米材料、生物医学等重点研究领域，建设有用于MEMS器件研发使用的代工产线。

34、淄博高新区6英寸中试线

该产线由清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有限公司共同完成。

是国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台 ，超净规模国内一流；配备了国际一流设备的中试代工线，中试生产能力可达月产传感器十万只，产品的测试环境也居国内先进水平。

35、兵器214所（中试线）

蚌埠兵器214所智能传感器创新中心已建成国家级微电子机械系统(MEMS)国家地方联合工程实验室和6英寸MEMS智能传感器研制生产工艺线 ，具有设计、制造、封装、筛选测试及应用的全产业链研制生产能力，拥有丰富的完全自主知识产权的MEMS技术，核心发明专利300余项，产品覆盖高端惯性传感器、压力传感器、光MEMS传感器、流量传感器以及气体传感器等，是国内MEMS龙头企业和工信部传感器“一条龙”示范企业。

36、中科院微电子所（中试线）

2016年由中科院微电子所设立的MEMS研发平台，其8英寸MEMS中试线工艺稳定性达到98%； 针对三轴重力加速度计、基于氧化钒的红外图像传感器、医用CT中X-ray探测、基于薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红外探测器等产品。

37、上海微技术工研院（中试线）

2017年，上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）构建的国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式投入运营，月产量将达到3000件。

该产线部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内第一条先进8英寸研发中试线，SITRI的8英寸研发中试线不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率。

今年6月，上海微技术工研院宣布将8英寸线每年四分之一的总机时资助给上海大学，用于微电子学院教学实践，为期5年。

38、中科院电子学研究所（研发平台）

中国科学院电子学研究所（以下简称电子所）创建于1956年，现已并入中国科学院空天信息创新研究院 ，是我国第一个综合型电子与信息科学研究所，设有传感技术联合国家重点实验室(北方基地)，建有用于MEMS研发使用的MEMS产线。

39、中科院上海微系统所（研发平台）

中国科学院上海微系统所设有传感技术联合国家重点实验室(北方基地)，现有的MEMS技术平台由微系统加工平台和微系统封装平台两部分组成，分别位于上海微系统所漕河泾园区内主楼的一层和二层净化间内。

整个平台拥有100多台套先进的大中型设备，总价值达1.1亿元，可以完成从微芯片制造、芯片封装、器件测试、微系统集成等成套工艺，为微系统研究提供有力的技术保障。

40、西北工业大学宁波研究院（研发平台）

西北工业大学宁波研究院智能传感芯片技术研究中心依托西北工业大学微机电系统及纳米技术双一流学科、极端环境智能微系统国家重点实验室（培育）宁波基地、空天微纳系统教育部重点实验室宁波基地等优势平台，建有国际先进、国内一流的硅基MEMS核心工艺加工服务平台，团队实力雄厚，具有MEMS器件结构设计、批量化代工、性能测试等研发加工能力。

西北工业大学宁波研究院MEMS加工平台位于宁波市国家高新区智造港A区，拥有世界顶级SPTS深硅刻蚀机、SUSS MA/BA8 Gen4光刻机、SUSS XB8键合机、全自动涂胶显影机、原子层沉积设备、两台电子束蒸镀设备（金/银/铝等金属、SiO2/Al2O3等介质）、两台激光隐切设备（硅/玻璃）、湿法腐蚀与清洗系统、椭偏仪、台阶仪等MEMS工艺专业设备，设备兼容8/6/4/2英寸晶圆加工 ，面向全国提供MEMS芯片结构设计、镀膜、光刻、刻蚀、划片、封测、应用开发等全方位技术服务。

结语

传感器芯片的研发是推动传感器产业发展的根本 ，不在传感器芯片上下功夫，中国传感器产业想要取得突破性发展是很难的。

每一条MEMS晶圆生产线的建设，均需要巨大的投资。每种类型的MEMS传感器具有一定的“独立性”，这点区别于芯片的Fabless业务，拥有自己MEMS产线的企业在研发和生产传感器上有天然的优势，因此许多国际传感器大厂往往拥有自己的MEMS产线。

随着中国MEMS传感器厂商的崛起，势必需要越来越多的MEMS产线。

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