单轴加速度传感器 感知“利”器｜单芯片双轴水平光纤加速度传感器及其制备方法
感知“利”器｜单芯片双轴水平光纤加速度传感器及其制备方法
工欲善其事，必先利其器。在全球化的今天，专利已不仅仅是创新的一种保护手段，它已成为商业战场中的利器。麦姆斯咨询倾情打造MEMS、传感器以及物联网领域的专利运营平台，整合全产业链知识产权资源，积极推动知识产权保护与有效利用。
加速度传感器可以测量运动物体加速度，在惯性测量、惯性导航、振动测量等应用中具 有广泛的需求。相对于压阻、压电、电容原理的传统加速度传感器，光纤加速度传感器以其 技术特点成为一类重要的加速度传感器，正在受到越来越多的重视，在国民经济、国防中获 得了广泛应用。在一些重要、特殊应用领域，例如航空航天的制导系统、石油勘探的地震检 波系统、舰船的振动监测、桥梁建筑结构检测系统、交通情况监测系统等，急需具有抗电磁 干扰、高灵敏度、大动态范围、易复用的高性能光纤加速度传感器。
光纤加速度传感器按光学敏感原理主要可以分为光强调制型、相位调制型和波长调制型，业已开展了广泛、深入的研究，其中MEMS光纤加速度传感器引起了人们广泛的关注。MEMS光纤加速度传感器采用MEMS敏感结构和光纤检测技术，融合了MEMS微制造技术和光纤传感技术的特点，具有体积小、灵敏度高、批量制造等技术优势。
【推荐发明专利】
《单芯片双轴水平光纤加速度传感器及其制备方法》
【技术背景】
加速度是一个矢量信号，加速度传感器通常具有方向性敏感响应，据此MEMS光纤加速度传感器可以划分为单轴、双轴和三轴MEMS光纤加速度传感器。在诸如矢量水听器，惯性导航和姿态控制等实际应用中，通常需要完整的加速度信息，因此，基于MEMS技术的三轴光纤加速度传感器具有重要意义。
通过封装和集成技术，基于MEMS技术的三轴加速度传感器可通过三种方式实现：
1）三个单轴加速度敏感单元直接封装成三轴加速度传感器。这种实现方式增加了三轴加速度传感器的体积和封装成本，而且在封装过程中由于各单轴传感器的正交失配，三轴加速度传感器的交差灵敏度是不可避免的，从而导致传感器的性能退化。
2）由单一质量块和若干弹性梁构成多自由度的加速度传感器，加速度传感器前三个振动模分别传感加速度的三个分量。然而，设计和制造这种单芯片的三轴加速度传感器非常复杂，而且在不同敏感方向具有相同的性能充满挑战。
3）三个单轴加速度传感器单元通过MEMS技术制造在单一的衬底上形成单芯片的三轴加速度传感器。与上述的MEMS三轴加速度传感器相比，这类加速度传感器有很多优点：其中包括适中的体积，小的交叉灵敏度，而且易实现在不同敏感方向具有相同性能。但是，目前已实现的基于MEMS技术的单芯片三轴加速度传感器，大多是直接将加速度信号转换成电信号，而不是利用光纤检测技术转换成光信号。
【发明内容】
本发明的单芯片双轴水平光纤加速度传感器及其制备方法，包括：在第一基底上形成两个敏感方向相互正交的、对水平加速度敏感的单轴加速度敏感单元，单轴加速度敏感单元包括微反光镜、弹性梁以及光高反射膜，在第二基底表面形成微反光镜扭转空间；将第一基底与第二基底键合；对双轴加速度敏感芯片和光纤准直器进行光学耦合封装。
本发明集成了MEMS微制造技术和光纤检测技术，因而其具有MEMS微制造技术的体 积小、重量轻、批量化生产和光纤检测技术的高灵敏度、高频响应、无源、抗电磁干扰特性。 由于光信号的输入和输出在双轴加速度敏感芯片的一测，且只需两支光纤准直器就可实现双 轴加速度敏感芯片的光信号的传输，因而不仅简化了芯片的封装而且也减小了芯片封装成本 和体积。本发明的单芯片双轴加速度敏感芯片，可以和我们已经实现的垂直轴加速度传感器集 成，实现单芯片三轴光纤加速度传感器。
【相关加速度传感器专利】
《噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法》
《单芯片硅集成三轴高频宽高冲击加速度计及其制作方法》
《高精度波长形加速度传感器及其制备方法》
《加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器结构及方法》
【相关研究报告】
《mCube晶圆级芯片封装（WLCSP）MEMS加速度计：MC3672》
《加速度计和陀螺仪市场-2016版》
《赛峰Colibrys VS1000系列加速度计》
专利购买或技术合作请联系：
麦姆斯咨询 殷飞 yinfei＃memsconsulting.com（@换成＃）
私人定制、主动降噪……你的车上可能就有TA
当前，新质生产力在不同的产业升级领域中发挥着关键作用，促进产业摆脱传统经济增长方式、生产力发展路径，以高科技、高效能、高质量为特征，带来先进生产力的变革发展。
在莘庄，如何加快培育发展新质生产力，如何因地制宜向“新”破题，持续激发高质量发展新动能，已然成为了城市高质量发展的核心动力。作为莘庄新质生产力发展的优秀代表之一，拾音科技正通过技术创新、产业升级、绿色转型、人才培养等方式，构建起莘庄未来的可持续发展体系。
科技驱动持续创新
据了解，拾音科技依靠强大的技术团队和前沿的智造能力，可提供两大平台（智能座舱平台、底盘运动平台）、三个类型（算法软件、传感器、控制器），共计16款产品。目前，间接式胎压传感器、高度传感器、单轴加速度传感器、三轴加速度传感器、控制器等均已实现量产。此外，据拾音科技副总裁王伟峰介绍，公司始终坚持在技术研发上持续投入，积极探索创新的产品与解决方案。其中，
主动降噪技术是基于拾音科技在汽车声学领域的多年工程经验，通过对智造中心量产的传感器的合理布置，结合自研的算法，能够有效降低车内噪声，既提升了整车的动态舒适性体验，又降低了车辆的制造成本。
助力驾乘体验升级
“除了更换零部件，拾音科技还可以为整车提供研发服务、研发工具、智能电子产品等一系列的服务和产品，从客户的实际需求出发，在早期研发阶段就为客户提供服务。”王伟峰表示。目前，拾音科技还形成了“
在技术服务方面，拾音科技可为客户
“当前汽车领域，电动化、智能化、网联化是整体趋势。汽车作为一个交通工具，既是一个移动终端，也是一个‘机器人’。传感器相当于是这个‘机器人’的眼睛、耳朵等触觉器官，控制器就是它的大脑。”王伟峰表示，
在快速发展的汽车行业中，技术的革新不断推动着行业的边界，为消费者带来更加卓越的驾乘体验。如今，通过与客户的紧密合作和深入交流，拾音科技不断优化产品和服务方案，已帮助不少客户实现了驾乘体验的升级，带来超越期待的豪华驾乘体验。
通讯员：徐钱佳
供稿：辛向荣
编辑：张雨桐
初审：陈怡婷
复审：姚怡莹
终审：徐雷冰
相关问答
请问加速 传感器 有什么用，加速 传感器 工作原理是什么?_齐家问问[最佳回答]你问题这个问题太专业了吧,很难回答的呢,我上网帮你查了很多资料,总结了一下其时加速度传感器是测量加速度的。测量结果可以换算成移动速度,角度等...
飞机三轴 加速度 计测量原理?这个和普通的加速度传感器是基于同样的原理,所以在一定的技术上三个单轴就可以变成一个三轴。对于多数的传感器应用来看,两轴的加速度传感器已经能满足多数应...
请问加速 传感器 有什么用，加速 传感器 工作原理是什么?_齐家装...也就是说加速度传感器是可以用来做电子陀螺仪的。那么我这边就简单介绍一下以下这些:加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力也就是当物体在加速...
麻烦在座的同志我想知道，ADXL335三轴 加速度传感器 输出数据...[回答]目前的三轴加速度传感器大多采用压阻式、压电式和电容式工作原理,产生的加速度正比于电阻、电压和电容的变化,通过相应的放大和滤波电路进行采集。...
IMU什么意思?也被用在需要用姿态进行精密位移推算的场合,如潜艇、飞机、导弹和航天器的惯性导航设备等。惯性测量单元是测量物体三轴姿态角(或角速率)以及加速度的装置。...
IMU什么意思?也被用在需要用姿态进行精密位移推算的场合,如潜艇、飞机、导弹和航天器的惯性导航设备等。惯性测量单元是测量物体三轴姿态角(或角速率)以及加速度的装置。...
imu功能?...IMU技术的出现弥补了GPS定位的不足,两者相辅相成,可以让自动驾驶汽车获得最准确的定位信息。IMU全称inertialmeasurementunit,即惯性测量单元,它由三个...
胎压 传感器 电池能换吗[最佳回答]胎压传感器可以10年不换电池。如若要更换,则需要整个置换,不可以单独换电池。直接式胎压监测系统TPMS的构成和工作原理美国新颁布的公路安全法规,使...
imu数据是什么意思?IMU(惯性测量单元)是提供时间序列格式的运动数据的常用传感器之一。在这篇文章中,我们将对它进行回顾。简介IMU(惯性测量单元)传感器提供时间序列数据,用...
木工雕刻机电机参数?木工雕刻机的电机参数主要包括以下几项:1.主轴电机功率:例如2200W、3000W、3000W、4500W等。2.主轴转速:这取决于电机功率,通常以每分钟转数(rpm)表示...