智能传感器系统 三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能

三星研发“智能传感器系统”，用于提高半导体良率和产能

IT之家 12 月 26 日消息，根据韩媒 ETNews 报道，三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，

IT之家注：提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。

三星现有的晶圆智能传感器大部分采购自美国等国外厂商，耗资数千万韩元。而近期对提高产量的需求不断飙升，倒逼三星转向自研，降低对外国传感器的依赖程度。

据了解，三星电子正在开发的智能传感器是超小型的，不会对现有设备空间产生重大影响，这意味着可以在提高空间利用率的同时提高产能。

据报道，三星电子计划逐步扩大智能传感器的开发和应用范围，其目的不仅限于等离子体，而是开发可用于各种半导体工艺的 SMART 传感器和系统。

雷锡恩在巴黎航展推出光电智能传感器系统

　　据外媒2023年6月19日报道，在2023年巴黎航展上，雷锡恩公司负责监视和瞄准系统业务的副总裁托里·凯迪介绍了本公司日前推出的“赖文”（Raiven）光电智能传感系统。它将现有的光电传感器获取的图像信息和光谱数据同人工智能相结合，从而使已有的光电设备的观测距离更远，目标分辨能力是已有的同类设备的5倍。

　　“赖文”采用模块化、开放式体系结构设计。它的“智能传感”能力结合了人工智能、高光谱成像、光探测和测距及激光雷达的先进技术，它可以将多个数据流结合在一起进行分析，并对目标的特殊化学特征或物体材料组成进行分析，几秒内完成。由此可以“看透”隐藏在伪装物后的武器装备。它还可以将大量数据合成为详细的战场空间图片，监测和识别敌方威胁，更快地为己方提供准确信息，便于做出正确的决策。

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