露点传感器价格 长川科技获得实用新型专利授权：“腔内露点调节装置和三温测试设备”
长川科技获得实用新型专利授权：“腔内露点调节装置和三温测试设备”
证券之星消息，根据企查查数据显示长川科技（300604）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“腔内露点调节装置和三温测试设备”，专利申请号为CN202323112292.1，授权日为2024年7月9日。
专利摘要：本实用新型涉及一种腔内露点调节装置和三温测试设备，其能够在避免对低温测试造成干扰的同时，保持腔内各处的干燥气流量保持一致，以便确保腔体内部各处的露点一致。该腔内露点调节装置，包括：测试腔体；载片台，被设置在该测试腔体之内，其中该载片台具有用于承载半导体的承载面，并且该载片台的该承载面远离该测试腔体的底部；供气模块，用于可调控地供应干燥气；送气管，被布置在该测试腔体的底部，其中该送气管具有与该供气模块连通的进气端和贯穿管壁的多个通气孔，并且多个该通气孔的孔径沿着远离该进气端的方向逐渐增大；以及露点传感器，被设置在该测试腔体之内，用于检测腔内露点。
今年以来长川科技新获得专利授权118个，较去年同期增加了0.85%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了7.15亿元，同比增10.87%。
数据来源：企查查
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