压力传感器的灵敏度 清华大学取得压力传感器专利,提升压力传感器的灵敏度,响应速度及稳定性
清华大学取得压力传感器专利,提升压力传感器的灵敏度、响应速度及稳定性
金融界2024年7月23日消息,天眼查知识产权信息显示,清华大学取得一项名为“压力传感器“,授权公告号CN21383541U,申请日期为2024年1月。
专利摘要显示,本申请提供了一种压力传感器,涉及压力传感器技术领域,其旨在解决压力传感器灵敏度差且响应慢的技术问题。该压力传感器包括压力敏感层、硬质导电层、第一电极及第二电极;硬质导电层设置于压力敏感层上,且两者形成密封的空腔;压力敏感层朝向硬质导电层的表面设置有微凸结构,微凸结构与硬质导电层接触;第一电极的一端与压力敏感层电连接,第一电极的另一端形成第一接线端,第一电极与硬质导电层保持电性绝缘;第二电极的一端与硬质导电层电连接,第二电极的另一端形成第二接线端,第二电极与压力敏感层保持电性绝缘。
本文源自金融界
高华科技取得一种压力传感器及其制备方法专利,大大提高压力传感器的灵敏度
金融界 2024 年 7 月 25 日消息,天眼查知识产权信息显示,南京高华科技股份有限公司取得一项名为“一种压力传感器及其制备方法“,授权公告号 CN115265854B,申请日期为 2022 年 7 月。
专利摘要显示,本发明提供一种压力传感器及其制备方法,压力传感器的制备方法,包括如下步骤:步骤 S100,对硅衬底的第一侧表面蚀刻并形成限位平台,所述限位平台的顶面与所述硅衬底的第一侧表面之间具有间隙;步骤 S200,在所述硅衬底的第一侧沉积牺牲层,通过所述牺牲层在所述硅衬底的第一侧制作结构层,并在所述结构层上设置压敏电阻;步骤 S300,对所述结构层进行蚀刻,以在结构层的底层薄膜上间隔形成多个支撑部,所述底层薄膜和多个所述支撑部共同构成梁膜结构;其中,所述底层薄膜的底面与所述限位平台的顶面之间形成预设预设距离。本发明的一个技术效果在于,设计合理,不仅能够发挥较好的抗过载作用,而且能够大大提高压力传感器的灵敏度。
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