压力传感器 灵敏度 清华大学取得压力传感器专利，提升压力传感器的灵敏度，响应速度及稳定性
清华大学取得压力传感器专利，提升压力传感器的灵敏度、响应速度及稳定性
金融界2024年7月23日消息，天眼查知识产权信息显示，清华大学取得一项名为“压力传感器“，授权公告号CN21383541U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本申请提供了一种压力传感器，涉及压力传感器技术领域，其旨在解决压力传感器灵敏度差且响应慢的技术问题。该压力传感器包括压力敏感层、硬质导电层、第一电极及第二电极；硬质导电层设置于压力敏感层上，且两者形成密封的空腔；压力敏感层朝向硬质导电层的表面设置有微凸结构，微凸结构与硬质导电层接触；第一电极的一端与压力敏感层电连接，第一电极的另一端形成第一接线端，第一电极与硬质导电层保持电性绝缘；第二电极的一端与硬质导电层电连接，第二电极的另一端形成第二接线端，第二电极与压力敏感层保持电性绝缘。
本文源自金融界
高华科技取得一种压力传感器及其制备方法专利，大大提高压力传感器的灵敏度
金融界 2024 年 7 月 25 日消息，天眼查知识产权信息显示，南京高华科技股份有限公司取得一项名为“一种压力传感器及其制备方法“，授权公告号 CN115265854B，申请日期为 2022 年 7 月。
专利摘要显示，本发明提供一种压力传感器及其制备方法，压力传感器的制备方法，包括如下步骤：步骤 S100，对硅衬底的第一侧表面蚀刻并形成限位平台，所述限位平台的顶面与所述硅衬底的第一侧表面之间具有间隙；步骤 S200，在所述硅衬底的第一侧沉积牺牲层，通过所述牺牲层在所述硅衬底的第一侧制作结构层，并在所述结构层上设置压敏电阻；步骤 S300，对所述结构层进行蚀刻，以在结构层的底层薄膜上间隔形成多个支撑部，所述底层薄膜和多个所述支撑部共同构成梁膜结构；其中，所述底层薄膜的底面与所述限位平台的顶面之间形成预设预设距离。本发明的一个技术效果在于，设计合理，不仅能够发挥较好的抗过载作用，而且能够大大提高压力传感器的灵敏度。
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