mems气体流量传感器 MEMS热式气体流量传感器及其应用选型

发布时间：2025-01-19 09:01:06

MEMS热式气体流量传感器及其应用选型

热式气体流量传感器简介

热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器，利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。

流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成，热偶堆对称分布在加热电阻的上、下游，加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。

加热电阻对热偶堆的热结进行加热，热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压。当流体静止时，加热电阻两侧对称位置的温度是相同的；当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜，加热电阻两侧对称位置的温度不再相同，温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。

由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可以直接测出流体质量流量。

热式气体流量传感器特点及应用

热式气体流量传感器利用比较简单的构造来准确地测量气体的质量流量，具有结构简单、压损小、量程范围宽等优点，在工业过程控制、医疗设备、便携式仪器、环境监测设备等领域有着广泛的应用。

热式气体流量传感器选型

热式气体流量传感器是一种广泛应用于气体流量测量领域的设备，具有精度高、稳定性好、响应速度快等优点。在选型时，需要根据实际应用场景、气体性质等方面进行综合考虑。

不同的应用场景对气体流量传感器的需求不同。例如，在工业生产过程中，需要对气体流量进行精确控制，以确保生产过程的稳定性和产品质量；而在环保监测领域，需要测量各种气体污染物排放量，以评估环境污染程度。因此，在选型时，需要明确实际应用场景，以便选择合适的传感器。其次，我们需要考虑气体性质。不同的气体具有不同的物理性质和化学性质，对传感器的测量精度和稳定性都会产生影响。例如，有些气体具有腐蚀性，会对传感器造成损害；有些气体密度较小，容易在管道中产生涡流和紊流，影响测量精度。因此，在选型时需要充分了解气体性质，以便选择适合的气体流量传感器。

炜盛科技流量传感器是基于先进的MEMS硅工艺制成的热式质量流量传感器，具有功耗低、体积小、无需稳压补偿、抗冲击、稳定可靠等特点，为医疗、仪器、自动化、燃气计量等领域的气体流量检测提供传感器解决方案。

MEMS热式气体流量传感器FR系列

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36氪独家 MEMS气体传感器厂商「微纳感知」获数千万元A轮融资，去年营收增速超400%

作者：Aaron

编辑：Lina

36氪获悉，国内MEMS（Micro-Electro-Mechanical System, 微机电系统）气体传感器企业「合肥微纳传感技术有限公司」（以下简称「微纳感知」）于近期完成数千万元A轮的融资。本轮融资由中信集团旗下投资公司中信兴业，华米科技与旗下投资基金华颖智慧物联、浩澜资本和同创伟业共同完成，本轮融资将主要用于新产品研发、加速团队建设、完成公司管理合规化和流程化工作。

浩澜资本管理合伙人李一峰告诉36氪，传感器是万物互联的基础，基于微机电技术的MEMS传感器由于其性能、功耗、体积、成本等方面的优势，近年来市场发展十分迅速。MEMS传感器细分领域众多，压力、硅麦克风、加速度计等下游细分市场竞争趋于白热化，且大多由国外巨头占据主导，而微纳感知所聚焦的MEMS气体传感器细分市场还是一片蓝海，国内外企业基本处于同一起跑线。

「微纳感知」成立于2015年，专注于MEMS传感器及模块的研发与量产，公司主要产品包括MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器，MEMS红外温度传感器及模组，广泛应用于消费、家电、汽车等领域。

微纳感知气体传感器，图片来源：微纳感知

微纳感知设计的MEMS气体传感器，是通过采用微电子技术的成膜工艺在硅衬底上淀积传感器敏感材料，敏感材料下的电阻制作成加热器，将二极管做为测温元件，然后将必要的信号电路和读出电路集成在同一硅芯片上做成的一种小型化、集成化、模块化、智能化的气体传感器。

MEMS气体传感器可检测气体成分和浓度，因此可广泛应用于消费、家电以及汽车等领域的多个场景，比如空气净化检测、燃气泄漏检测、VOC以及甲醛含量检测、食物新鲜度检测、车载驾舱环境检测、新能源车电池工况监测等方面。

微纳感知告诉36氪，公司针对冰箱市场创新性地推出食物新鲜度检测管理模块，经过数年产品打磨，已成功进入国际家电巨头供应商体系。

MEMS气体流量传感器在应用场景上包括工业控制、自动化设备、内燃机气流监测等。随着“一带一路”政策的落地，微纳感知的产品也成功出海，2020年出口订单数量增幅超过200%。

微纳感知气体流量传感器，图片来源：微纳感知

36氪获悉，传统气体传感器和MEMS气体传感器在一些市场应用上存在重叠，但在汽车和家电领域，MEMS气体传感器因其具备小尺寸（L×W×H约为3.2mm*2.5mm*2mm）、低功耗（耗能在毫瓦甚至微瓦级别）、低成本、快响应等优点而受到广泛应用。在未来，采用MEMS技术加工制造的传感器将是行业发展趋势。

微纳感知联合创始人李志华告诉36氪，合肥微纳感知从入行开始便确定以技术驱动为发展导向，经过几年的技术、产品沉淀，已在领域内完成了核心技术积累并形成了自己的技术壁垒。近年来公司在产品性能（功耗、响应以及尺寸等）、良品率以及供货稳定性等方面，均处于业内一流水平。

据悉，微纳感知与国内IC代工厂商、MEMS代工厂商均建立了良好的供求关系，作为国内MEMS气体传感器细分领域的头部企业，在此番缺“芯”涨价浪潮中，公司能够优先从代工厂商获得产能供给。

微纳感知告诉36氪，公司从2018年底开始量产销售， 2020年营收增速超过400%。目前MEMS气体传感器仍处于蓝海市场，在未来预计将达到千亿元级别市场。