传感器灵敏度的单位加速度传感器灵敏度提高百倍以上

发布时间：2024-10-07 08:10:37

加速度传感器灵敏度提高百倍以上

创新连线⋅国际科技传播联盟

东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构，成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS（微机电系统）加速度传感器，实现了1微（μ）G级（G=9.8m/s2，重力加速度）的高分辨率检测。

这一创新技术提高了超小型加速度传感器的分辨率，并实现其通用化，可用于医疗保健、基础设施诊断、移动体控制、机器人应用等各种运动检测中，有助开发新的器件和系统。

该研究小组此前提出过利用金材料将MEMS加速度传感器的砝码体积削减至十分之一以下的方法。此次以该方法为基础，通过重叠多层金层形成MEMS结构，增加了单位面积的砝码重量，与以往相同尺寸的传感器相比，灵敏度提高百倍以上，噪声降至十分之一以下。

相关研究近日发表于国际学术论文期刊《传感器与材料》网络版。

（来源：日本科学技术振兴机构）

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接着往下说第三个灵敏度，这是一个非常重要的参数，也是用的最多的。可能有的时候有的人见过很多，但是不一定知道它叫灵敏度，或者是用别的方法，用别的叫法不知道它是灵敏度。

先看灵敏度定义，传感器的输出量的增量与相应的输入量的增量之比。输出量的增量与输入量增量之比，也就是知道一个传感器对它输入一个信号不如一个操作，然后对应的就是输出量就会有变化。

压力传感器、重量传感器放上一个称重的秤，放上一个十公斤的东西，菜或者是水果，秤上会显示一个十公斤左右的不值，这就是输入量和输出量的变化，就是数量数输出量的信号。灵敏度越大，变化量越大，测量的精度也会越高。

灵敏度其实不就等于输出量，比方输入量，太值，如果越大，那么它俩的变化量就会越大，数量一般不去变化，表我的数量的增量就是这一个x，上边如果是个五十，变化量越大，开支越大，灵敏度就会越高，测量的精度也会越高。

常见的压力变送器：输入一定压力信号，会输出一定量的电流或者电压信号(如电流信号4-20ma)。这个就是常见的压力变送器，输出的电一般都是四到二十毫安的电流信号，电流信号对不对？零到一千帕的压力对应的四到二十毫安的电流信号在这里边。

零到一千帕是什么？是输入四到二十二是什么输出？输出的量二十减去四回一千等于零点零一六毫安米帕。其实这个是怎么算的？就是用它们最大的量程比来进行得出来，这是一种方法，就是压力变送器的灵敏度改为零点零一六，也就是压力没变化一怕的时候输出就会变化零点零一六毫安。

比如如果要是零到一百pa，零到一百pa，那么灵敏度就是变成了零点零一，零点一六，就是增加了十倍，开值就会增加十倍，也就是量成越小，灵敏度就会越大，这个也是在日常中。就会经常遇到的一些问题。为什么？就是量程越小，数值波动会越大，就越容易有时候会甚至泵的超标上，或者是变得数很小了，这样就是波动大。

使用的很多的分析仪器，要废纸、废弃颗粒物的分析仪都存在着这种关系。就像常见的废水新浪分析一样，其测量的废水浓度是通过分析仪的信号来实现的。