半导体气敏传感器是 韩科研团队研发新一代半导体气敏传感器

韩科研团队研发新一代半导体气敏传感器

来源：【科学技术部】

韩国生产技术研究院科研团队利用自研新型纳米材料成功研发了新一代纳米片半导体气敏传感器。

半导体气敏传感器因体积小、易使用、成本低的优势受到广泛使用，但是现有半导体气敏传感器在高温高湿环境下存在灵敏度大幅降低和传感质量下降的问题。科研团队利用钙硅酸盐解决了这一难题，其核心技术是用极薄的钙硅酸盐纳米片填充在锡氧化物纳米格之间，制成能在复杂气体环境下有效吸附水分子的新型二维纳米材料。实验证明，该材料可以彻底解决半导体气敏传感器的防潮问题，并大幅提高在复杂气体环境下的敏感度和精准度。该研究不仅提高了半导体气敏传感器的性能，其研发的二维纳米材料可在多领域发挥重要作用。该项目研究成果刊登在国际学术期刊《危险材料杂志（Journal of Hazardous Materials）》上。

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什么是压电声表面波（SAW）传感器？看完就懂了

压电材料作为感知电力设备放电、振动等信号的关键材料，在电力设备振动监测、放电检测、探伤、温度测量、电压传感等领域得到广泛应用。

压电材料在压电传感器件中的应用多种多样，其核心在于机械能和电能的相互转换：压电材料受机械振动（压电振动传感器）、声波传导（压电声传感器）等机械外力作用时晶格形变，引起极化状态的变化，输出传感电信号，或通过对压电材料受电场作用产生的形变进行测量来反映电场大小（压电电压传感器）。

声波信号可较好地实现与电信号的耦合与相互转换。根据声波激励、传播和耦合方式的不同，压电声传感器可分为压电超声传感器、声表面波传感器、电声脉冲传感器、压力波传感器等。

声表面波（Surface Acoustic Wave，SAW）是一种沿弹性基体表面传播的声波，被广泛应用于压电传感器件。实际制备压电SAW传感器时，通常采用半导体加工工艺在压电基体上沉积叉值换能器（Interdigital Transducer，IDT），如图1所示。当电压加到发射IDT上时，发射IDT发射SAW沿基体表面传播，当温度、压力、气体等物理或化学参量作用到压电SAW传感器表面时，SAW传播速度/频率发生改变，并通过接收IDT测量得到。

图1 压电SAW传感器

压电SAW传感器主要基于延迟线作为其传感单元，因SAW传播速度与温度直接相关，被广泛应用于温度传感场景。

为提高传感器灵敏度，一般选取TCD较高的材料如铌酸锂、钽酸锂、石英晶体等材料。C.E.Weld等采用ST切割石英压电晶体（TCD=32×10-6/℃）作为SAW温度传感器敏感材料，分辨率可达0.22℃。另有研究者基于128°YXLiNbO3材料（TCD=75×10-6/℃）制备压电SAW温度传感器。实际应用时该类传感器受环境质量负载效应影响较大，需采用密封封装。

压电SAW温度传感器在电网中得到了实际应用，有研究者将压电声表面波温度传感器安装于某10kV配电网架空电力线路杆塔刀开关螺栓处，如图2所示，监测输电线路温度变化情况，实测结果显示传感温度数据变化趋势与实际用电情况相符。丁永生等选用（0,126°,0°）及（0,126°,39°）AT切石英构成差动式SAW温度传感器，用于配电变压器油温监测，其在常温段具有较好的线性度，在高温段具有较高的灵敏度，可有效补偿高温对器件性能的影响。

图2 基于压电SAW温度传感器测量电力杆塔温度

压电SAW传感器件也可用于气体传感，其基本原理是传感器表面敏感膜材料对特定待测气体产生吸附，导致声表面波传播速度波动，从而引起振荡频率的变化，完成对待测气体的检测。研究者先后基于YZ-LiNbO3、ST-X石英、128°YXLiNbO3等压电基体，完成对CO2、H2、NO2等气体的检测，有望用于变压器油分解气体检测和电缆脱气检测等领域。此外，压电SAW传感器在压力传感、湿度检测、角速度检测等方面也已展开实际应用。

与传统传感器相比，SAW传感器在检测精度及灵敏度等方面仍存在不足，亟需对器件性能和系统稳定性进行改善，需要从其物理结构、电路设计、器件拓扑、敏感膜选取和制备等方面来改善其精度、检测下限及稳定性。

本文编自2021年第7期《电工技术学报》，论文标题为“压电材料与器件在电气工程领域的应用”，作者为姚睿丰、王妍 等。

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