广州 传感器 国内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线项目在广州增城投产

国内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线项目在广州增城投产

6月28日，增芯举行国内首条12英寸智能传感器晶圆制造产线项目投产启动仪式。该项目位于增城经济技术开发区核心区，一期投资70亿元，建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线。预计今年底实现产品交付客户。

增芯是在增城落地的第一家芯片制造企业，其12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造产线项目是广东省、广州市重点项目，对增城乃至广州、广东集成电路产业发展具有重要意义。

增芯项目外景 谢锡权 摄

“芯片有了增城造”

走进增芯项目主厂房参观通道，可直观了解芯片制造生产过程。芯片制造对洁净环境要求非常高，记者在现场看到，包括光刻机、干法刻蚀机等在内的晶圆加工设备以及各种检测和测试设备有序摆放，整个操作车间一尘不染，工作人员身穿洁净服进行操作。目前项目一期洁净间面积达1.6万平方米，预计2025年底能达到月产2万片的目标。

芯片制造类似乐高盖房子，先用晶圆作为地基，再层层往上叠加芯片制造流程，重复若干次，产出相应的芯片。“增芯可以在增城生产第一批芯片产品了。”现场，增芯总经理张亮难掩内心激动。

据介绍，芯片完整的制造流程涉及气相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蚀、离子注入等步骤，分别对应不同设备。举行投产启动仪式，意味着项目已建立起制造系统，整个生产流程能够连贯地运作，后续将通过产品良率提升和产能爬坡，加快产品交付工作。

“随着工业互联网、大数据、物联网等新一代信息技术的快速发展，先进智能传感器芯片大有可为。”张亮表示，产品将主要应用于新能源智能汽车、超高清视频显示、高端装备、5G、人工智能、工业互联网等领域，能极大满足大湾区在相关优势产业领域对半导体及集成电路的庞大需求，加快补齐产业链短板，突破产业关键核心技术，提升产业链供应链稳定性和安全性。

“现代活力核”迎来“芯”景象

作为广州东部中心“现代活力核”的重要承载区，增城加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系，并在“芯”产业方面不断实现突破，智能传感器全产业链雏形初步形成。

增城在广州集成电路“一核两极多点”中扮演着重要角色，主要聚焦智能传感器和芯片制造领域。在链主企业增芯的牵引之下，增城已引进落户越海、广东微技术工研院、中微广州、智达星空等一批能级高、带动力强的骨干项目。

为推动全产业链条完整集聚，增城同步打造广东省首个获批的智能传感器特色产业园，形成包括增城经济技术开发区核心区组团、电子材料组团、科教城组团、公铁联运组团4个组团，以制造为核心的“一核一圈四组团”空间布局，覆盖生产制造端、装备制造端、创新平台端、封装测试端、材料供应端、芯片设计端、终端应用端，预计到2035年形成千亿级智能传感器产业集群。

当前，增城正全力以赴优化营商环境，大力支持增芯等重点项目建设，做好全链条要素保障，保障项目顺利投产；增城海关加快智慧海关建设，将口岸查验指令调整为由目的地海关到厂执行，配合企业生产流程第一时间到厂检验，做到随到随检，一次开箱、一次验放。

同时，增城积极制定出台和推动各项扶持政策落实，在健全完善产业链条、提升产业创新水平等方面予以政策支持，加快集成电路及智能传感器产业发展，为培育壮大现代化产业体系提供坚实支撑。

文｜记者 马灿 通讯员 增宣图｜通讯员提供

推动未来“芯”景象！2024智能传感器创新发展大会在广州增城举行

4月13日，主题为“感知世界新发展，推动未来‘芯’景象”的2024智能传感器创新发展大会在广州市增城区举行。中国科学院院士刘胜、郑海荣，以及行业专家、国内外知名企业、高等院校、科研机构代表等近200名嘉宾出席活动。

推动传感器产业不断做大做强

按照国家、广东省关于发展集成电路产业的部署要求，广州市出台了《广州市关于聚焦特色工艺半导体产业高质量发展的若干措施》。会上，广州市工业和信息化局有关负责人针对该政策进行了详细解读，并表示将从提升产业创新能力、加快产业生态培育、推进产业应用推广、强化产业服务支撑等方面着重发力，大力支持增城发展泛半导体产业和智能传感器产业，助力广州打造国家集成电路产业发展“第三极”核心承载区。

据介绍，下一步，广州将聚焦智能传感器产业研发设计、加工制造、封装测试、材料设备四大关键环节，夯实智能终端、智能网联汽车、软件算法、集成电路、大数据等五大关联产业，着力形成智能传感器材料、设备、设计、制造、封装、测试、系统集成、示范应用的全产业链条。

该负责人表示，广州将强化政策支持、做好服务保障，为企业发展和项目合作提供一流营商环境，推动传感器产业不断做大做强做优。

作为广州先进制造业的重要基地，增城拥有国家级经济技术开发区、国家城乡融合发展试验区、国家级“侨梦苑”等国字号平台，以及广州东部中心、广州东部公铁联运枢纽、广州科教城等重大发展平台，2023年GDP增长8.5%，增速排名全市各区第二。

重点打造增城智能传感器产业园

会上，增城有关负责人介绍了广州增城智能传感器产业发展情况。近年来，增城的“芯、显、车”三大先进制造业进入发展快车道，其中“显”“车”产业拥有维信诺、广本增城工厂、北汽（广州）等龙头产业项目。“芯”产业方面，目前越海集成的高端传感器8寸/12寸TSV封装项目已投产、增芯科技的国内首条12英寸智能传感器及特色工艺晶圆制造产线项目正在加紧建设中。

同时，增城的智能传感器全产业链雏形已初步形成，涵盖芯片制造端、封装测试端、终端应用端等各个环节，将聚焦汽车电子、智慧仓储物流、医疗电子等领域，推动智能传感器产业快速发展。

今年，增城聚焦智能传感器核心技术攻关，推动智能传感器产业链上下游协同发展，提升智能传感器产业链整体竞争力，重点打造广州增城智能传感器产业园，推动先进制造业高质量发展，为助力广州打造国家集成电路产业发展“第三极”核心承载区、培育壮大现代产业体系提供坚实支撑。

目前，广州增城智能传感器产业园已成功入选2023年度广东省特色产业园，成为广东省获批的第一个智能传感器特色产业园。

据介绍，广州增城智能传感器产业园包括增城经济技术开发区核心区组团、电子材料组团、科教城组团、公铁联运组团等4个组团，共同构成以制造为核心的“一核一圈四组团”智能传感器产业发展格局，为东部中心现代产业体系提供重要支撑，并通过广深港澳科技创新走廊向西联动黄埔，向南联动深莞，辐射粤港澳大湾区。

推动智能传感器产业创新发展

本次活动旨在汇聚智慧、共谋发展，加快推进以智能传感器为代表的集成电路特色产业高质量发展，高标准构筑粤港澳大湾区智能传感器产业新高地，助力广东省打造中国集成电路产业“第三极”。

会上，广东微技术工业研究院与产业链上下游企业、高校院所签订战略合作协议，广东微技术创新促进联盟举行启动仪式，广东省集成电路产融服务联盟举行成立仪式。

据介绍，广东微技术创新促进联盟的启动，将进一步推动微技术产业的创新发展，加强企业间的合作与交流；广东省集成电路产融服务联盟的成立，将为集成电路产业的发展提供有力的支持，促进产学研用深度融合。

中国传感器与物联网产业联盟副秘书长朱佳骐表示，粤港澳大湾区发展传感器产业有很大的优势，随着省、市、区积极布局传感器产业，发展势头良好，增城在传感器产业装备、材料等产业链方面都有很好的布局，相信增城传感器产业前景值得期待。

当天现场，还安排了主旨演讲、产业报告、圆桌对话三个活动环节，传感器行业领域顶尖专家、企业家等围绕智能传感器产业发展进行深入探讨，全面赋能大湾区智能传感器产业高质量发展。

其中，中国科学院院士刘胜、郑海荣等6位专家、企业家进行了主题演讲。他们聚焦新质生产力，深入探讨产业新趋势，展望产业未来新动向，为推动智能传感器产业高质量发展提出自己的意见、建议。

文 | 记者 马灿 通讯员 增宣

图 | 通讯员提供

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